БИБЛИОТЕКА , Советский патент 1972 года по МПК G01P1/00 

Изобретение относится к области технологии.

Известно устройство для измерения скорости нанесения пленок по авт. св. № 245515. Это устройство имеет сложную конструкцию, недостаточно высокую точность и надежность.

В предлагаемом устройстве с целью упрощения конструкции, повышения точности и надежности работы датчик выполнен двухсекционным; при этом каждая секция снабжена коллектором ионного тока, размещенным концентрично относительно общего анода-модулятора.

На чертеже схематически изображен предлагаемый датчик.

Датчик состоит из прямонакального катода 1, ток эмиссии которого поддерживается стабилизатором 2 постоянным. Вокруг катода, являющегося осью коаксиальной системы, помещена спиральная цилиндрическая сеткаанод 3, к которой подключены источники 4 постоянного и модулирующего переменного напряжения. На определенном расстоянии от анода помещены два коллектора 5 и & в совокупности своей образующие поверхность полого цилиндра. Переменное электрическое поле между катодом 1 и анодом 3 модулирует электронный поток. В зависимости от знака полуволны переменного напряжения на аноде

S анодный ток изменяет свою величину от нуля до максимума.

В момент времени, когда анодный ток не равен нулю, часть электронов пролетает через спиральный анод 3, в пространство между анодом 3 и коллекторами 5 и б. Это пространство с помощью экранов 7 разделено на две равных секции S и Р. Каждая из секций содержит один из коллекторов.

Например, в положительную полувОоТну напряжения, приложенного между катодом / и анодом 3, электроны, эмитированные катодом, под воздействием поля будут двигаться к аноду. Часть их, пролетев анод по инерции,

будет снова возвращена полем к аноду и таким образом электроны совершают колебательное движение в пространстве секций.

В отрицательный полупериод поле препятствует движению электронов в направлении

анода и анодный ток прекращается.

Совершая колебательное движение в секциях 8 и 9, электроны производят ионизацию. Коллекторы 5 W. 6 соединены со входом дифференциального усилителя 10, к выходу которого подключен регистрирующий прибор //. Секция 8 закрыта от потока молекул испаряемого вещества, в то время как в секцию 9 этот поток проникает. Таким образом, в секции 8 находятся молекулы только оста