УСТРОЙСТВО для ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИОНОВ из ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ионного ИСТОЧНИКА Советский патент 1972 года по МПК H01J27/16 

Описание патента на изобретение SU345540A1

Изобретение относится к устройствам питания высокочастотных ионных нсточников, используемых на электростатических ускорителях заряженных частиц.

Для вытягивания ионов используются источники постоянного напряжения, в частности выпрямители, при непрерывном режиме работы источника и более сложные источники импульсов напряжения при импульсном режиме. Величина тока ионов, извлекаемых из плазмы ионного источника, при неизменных прочих условиях разряда в плазме зависит от величины вытягивающего напряжения, приложенного между вытягивающим . электродом (катодом) и анодом, который находится под потенциалом плазмы ионного источника. Часть тока ионов проходит через канал в катоде и образует собственно ионный пучок, другая часть попадает на катод (катодный ток), вызывая его разогрев, износ и в конечном итоге выход из строя вместе с другими элементами системы вытягивания. Существует оптимальное напряжение вытягивания, при котором катодный ток имеет наименьщую величину. Оптимальное напряжение зависит от условий разряда и состояния системы вытягивания. При отклонении от оптимального напряжения износ катода резко увеличивается.

ром вручную. Поскольку обычно ионные источники на ускорителях находятся под высоким напряжением и для измерения параметров питания источника требуется очень сложное и дорогое оборудование телеизмерения, то часто не имеют нолной информации о параметрах питания. Напряжение вытягивания не может быть поэтому установлено оптимальным.

В предлолченном устройстве обеспечено автоматическое управление вытягиванием с помощью обратной связи по катодному току. Для этого выпрямителем вытягивания управляет фазочувствнтельный усилитель; последовательно выпрямптелю включен источник небольшого синусоидального напрял ення (например, обмотка трансформатора); последовательно с катодом включено измерительное сопротивление, на котором переменная составляющая катодного тока создает сигнал обратной связи, поступающий на усилитель.

Предложенное устройство показано на чертеже.

Устройство содержит высокочастотный ионный источник, включающий в себя анод / - электрод, находящийся под потенциалом плазмы 2, и катод 3, источник 4 небольщого синусоидального напряжения; управляемый выпрямитель вытягивания 5, фазочувствительный

плиту 8 ускорителя, находящуюся под ускоряющим потенциалом.

Синусоидальное напряжение приводит к появлению переменной составляющей той же частоты в катодном токе /к, причем если напряжение вытягивания меньше оптимального, то фаза тока противоположна фазе напряжения. При больщем папряжепии фазы тока и напряжения совпадают, при оптимальпом папряжении в катодном токе нет составляющей этой частоты.

Усилитель в зависимости от фазы катодпого тока увеличивает или уменьшает напряжение вытягивания, поддерживая его оптимальным.

Предмет изобретения

Устройство для извлечения ионов из высокочастотпого ионного источника, состоящее из вытягивающего электрода и управляемого высоковольтного выпрямителя, отличающееся тем, что, с целью уменьшения износа электродов, оно содержит цепь обратной связи с помощью фазочувствительного усилителя, вход

которого подключеп параллельно сопротивлению в цепи вытягивающего электрода, а выход подключеп к цепи управления высоковольтного выпрямителя, последовательно с которым включен низковольтный источник

синусоидального папряжепия.

Похожие патенты SU345540A1

название год авторы номер документа
Импульсный источник ионов 1989
  • Кондратьев Б.К.
  • Петренко С.В.
  • Турчин В.И.
SU1625257A1
УСКОРИТЕЛЬ ИОНОВ С МАГНИТНОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ 2005
  • Иосселиани Дмитрий Дмитриевич
RU2287916C1
ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА, УПРАВЛЯЕМАЯ ИСТОЧНИКОМ ИОНОВ С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ 2022
  • Тюрюканов Павел Михайлович
RU2792344C1
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ 1997
  • Муранов Е.Н.
  • Родовиков А.Я.
  • Филин И.А.
RU2118012C1
Ускоритель ионов 1982
  • Быстрицкий В.М.
  • Петров А.В.
  • Толмачева В.Г.
SU1053730A1
Ионная пушка 1986
  • Арбузов А.И.
  • Быстрицкий В.М.
  • Петров А.В.
  • Толмачева В.Г.
SU1419494A1
Газоразрядное распылительное устройство на основе планарного магнетрона с ионным источником 2020
  • Семенов Александр Петрович
  • Семенова Ирина Александровна
  • Цыренов Дмитрий Бадма-Доржиевич
  • Николаев Эрдэм Олегович
RU2752334C1
Ионная пушка 1982
  • Матвиенко В.М.
SU1102474A1
СПОСОБ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ МАШИН И ИНСТРУМЕНТОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ 1993
  • Плешивцев Николай Васильевич
RU2078847C1
ЭЛЕКТРОННЫЙ ИНЖЕКТОР 1986
  • Завьялов М.А.
  • Лисин В.Н.
  • Цхай В.Н.
SU1426424A1

Иллюстрации к изобретению SU 345 540 A1

Реферат патента 1972 года УСТРОЙСТВО для ИЗВЛЕЧЕНИЯ ИОНОВ из ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ионного ИСТОЧНИКА

Формула изобретения SU 345 540 A1

Ионный пучок

SU 345 540 A1

Даты

1972-01-01Публикация