Изобретение относится к устройствам питания высокочастотных ионных нсточников, используемых на электростатических ускорителях заряженных частиц.
Для вытягивания ионов используются источники постоянного напряжения, в частности выпрямители, при непрерывном режиме работы источника и более сложные источники импульсов напряжения при импульсном режиме. Величина тока ионов, извлекаемых из плазмы ионного источника, при неизменных прочих условиях разряда в плазме зависит от величины вытягивающего напряжения, приложенного между вытягивающим . электродом (катодом) и анодом, который находится под потенциалом плазмы ионного источника. Часть тока ионов проходит через канал в катоде и образует собственно ионный пучок, другая часть попадает на катод (катодный ток), вызывая его разогрев, износ и в конечном итоге выход из строя вместе с другими элементами системы вытягивания. Существует оптимальное напряжение вытягивания, при котором катодный ток имеет наименьщую величину. Оптимальное напряжение зависит от условий разряда и состояния системы вытягивания. При отклонении от оптимального напряжения износ катода резко увеличивается.
ром вручную. Поскольку обычно ионные источники на ускорителях находятся под высоким напряжением и для измерения параметров питания источника требуется очень сложное и дорогое оборудование телеизмерения, то часто не имеют нолной информации о параметрах питания. Напряжение вытягивания не может быть поэтому установлено оптимальным.
В предлолченном устройстве обеспечено автоматическое управление вытягиванием с помощью обратной связи по катодному току. Для этого выпрямителем вытягивания управляет фазочувствнтельный усилитель; последовательно выпрямптелю включен источник небольшого синусоидального напрял ення (например, обмотка трансформатора); последовательно с катодом включено измерительное сопротивление, на котором переменная составляющая катодного тока создает сигнал обратной связи, поступающий на усилитель.
Предложенное устройство показано на чертеже.
Устройство содержит высокочастотный ионный источник, включающий в себя анод / - электрод, находящийся под потенциалом плазмы 2, и катод 3, источник 4 небольщого синусоидального напряжения; управляемый выпрямитель вытягивания 5, фазочувствительный
плиту 8 ускорителя, находящуюся под ускоряющим потенциалом.
Синусоидальное напряжение приводит к появлению переменной составляющей той же частоты в катодном токе /к, причем если напряжение вытягивания меньше оптимального, то фаза тока противоположна фазе напряжения. При больщем папряжепии фазы тока и напряжения совпадают, при оптимальпом папряжении в катодном токе нет составляющей этой частоты.
Усилитель в зависимости от фазы катодпого тока увеличивает или уменьшает напряжение вытягивания, поддерживая его оптимальным.
Предмет изобретения
Устройство для извлечения ионов из высокочастотпого ионного источника, состоящее из вытягивающего электрода и управляемого высоковольтного выпрямителя, отличающееся тем, что, с целью уменьшения износа электродов, оно содержит цепь обратной связи с помощью фазочувствительного усилителя, вход
которого подключеп параллельно сопротивлению в цепи вытягивающего электрода, а выход подключеп к цепи управления высоковольтного выпрямителя, последовательно с которым включен низковольтный источник
синусоидального папряжепия.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Импульсный источник ионов | 1989 |
|
SU1625257A1 |
УСКОРИТЕЛЬ ИОНОВ С МАГНИТНОЙ ИЗОЛЯЦИЕЙ | 2005 |
|
RU2287916C1 |
ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ ПУШКА, УПРАВЛЯЕМАЯ ИСТОЧНИКОМ ИОНОВ С ЗАМКНУТЫМ ДРЕЙФОМ ЭЛЕКТРОНОВ | 2022 |
|
RU2792344C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ | 1997 |
|
RU2118012C1 |
Ускоритель ионов | 1982 |
|
SU1053730A1 |
Ионная пушка | 1986 |
|
SU1419494A1 |
Газоразрядное распылительное устройство на основе планарного магнетрона с ионным источником | 2020 |
|
RU2752334C1 |
Ионная пушка | 1982 |
|
SU1102474A1 |
СПОСОБ ИОННОЙ ОБРАБОТКИ ДЕТАЛЕЙ МАШИН И ИНСТРУМЕНТОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ | 1993 |
|
RU2078847C1 |
ЭЛЕКТРОННЫЙ ИНЖЕКТОР | 1986 |
|
SU1426424A1 |
Ионный пучок
Даты
1972-01-01—Публикация