ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ВАКУУММЕТР Советский патент 1972 года по МПК G01L21/00 

Изобретение относится к устройствам для измерения вакуума.

Известны полупроводниковые вакуумметры, содержащие в качестве чувствительного элемента полупроводниковые терморезисторы. Недостаток таких вак умметров - узкий диапазон температурной компенсации, равный ±5° С.

Целью изобретения является обеспечение компенсации температуры окружающей среды при работе полупроводникового вакуумметра в широком диапазоне температур.

Для этого компенсатор и позистор вместе с сопротивлением подгонки позистора включены последовательно в цепь дополнительного источника напряжения малой величины, отделенного от источника разогрева дросселем. Один вывод дросселя соединен с выводом позистОра и выводом разделительной емкости, а другой включен в цепь постоянного тока, причем сопротивление щунта позистора через емкость или индуктивность и второй вывод емкости подключены к цепи переменного тока.

На чертеже показана принципиальная схема предложенного вакуумметра.

Вакуумметр состоит из датчика 1, содержащего в качестве чувствительного элемента тер.морезистор с положительным температурным коэффициентом, компенсатора 2, индикатора 3, подключенного к выводам резистора 4,

разделительной емкости 5, исключающей попадание постоянного напряже 1ия в цепь -переменного, а также дросселя 6, препятствующего шунтированию датчика по переменному току через внутреннее сопротивление источника напряжения 7, генератора напряжения малой амплитуды, не влияющего на тепловой режим компенсатора, а также сопротивлений щунта 5 и 9 и подгонки 10, 11, служащих для линеаризации температурных характеристик датчика и компенсатора, генератора переменного напряжения 12. Емкость 13 шунтирует источник напряжения 7 по переменному току. Так как щунтирование датчика 1 осуществляется только по переменному току, то наличие сопротивлений 8 и 10 не ухудшает релейности чувствительного элемента при включении напрял ения питания. Так как температурные характеристики разогретых терморезисторов с положительным температурным коэффициентом близки к линейным при мощности рассеивания 0,4-0,8 вт, то включение последовательно с тер.морезистором компенсатора, имеющего отрицательный температурный коэффициент, по абсолютной величине равный температурному коэффициенту разогретого терморезистора с положительным темнературным коэффициентом, позволяет осуществить температурную компенсацию при колебании