МАНОМЕТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ ДЛЯ ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ВАКУУММЕТРОВ Советский патент 1972 года по МПК G01L21/12 

Изобретение относится к теплоэлектрическим вакуумметрам, в частности к манометрическим датчикам давления и быть использовано ири измерении низких давлений. 1

Известны манометрические датчики давления для тенлоэлектрических вакуумметров, у которых термочувствительный элемент вынолнен из полуироводниковых материалов на основе окислов металлов (термисторы). Однако в термисторных датчиках плохая стабильность показания, ограииченнын диапазон измерений и др.

Цель изобретения - расширить диапазои измереиий, повысить чувствительность и увеличить стабильность показаний. Это достигается тем, что термочувствительный элемент выполнен в виде органического иолупроводника например, из те,рмообработа«ного полиакрилонитрила.

Такой термочувствительный элемент молсет быть изготовлен в виде нити или волокна п в зависимости от режима термообработки иметь темнературный коэффициент электрического

сопротивления в пределах от 8-10 з--до

пературы окружающей среды и от адсорбции газов.

Нити из термообработанного полиакрилонитрила удовлетворяют всем требованиям, предъявляемым к тенлоэлектрическим манометрам, и могут быть смонтированы, в термопарном манометрическом датчнке типа «Пирани и т. д.

На фиг. I показана зависимость термо-э.д.с. от давлення для термопарного манометрического датчика, типа ЛТ-2, и для термопарного датчика, у которого нагреваемая ннть выполнена из термообработанного нолиакрилопитрила; иа фиг. 2 показана зависимость силы тока от давления для датчпка, типа «Пирайи, у которого нить выполнена из термообработанного полиакрилонитрила.

Как видно нз графиков исиользовапие в датчике нитей из термообработанного полнакрилонитрила позволяет расширить диапазон измеряемых давлений. Такие датчики обладают высокой чувствительностью и стабильиостью показаннй.

Предмет изобретения

чения стабильности показаний, термочувствительный элемент выполнен в виде органического полупроводника, например из термообработанного полиакрилонитрила.

7 8 9 Ю ЭДС термопары, м8

30 60 90 i20 150 т 210 2W 270 300