изобретение относится к составам стекол, используемым при изготовлении полупроводниковых приборов для фотошаблонов или хромовых масок.
Известно стекло, включающее SiO2, СаО, ZnO, NaaO, , ВаО и К2О. . Цель изобретения-снизить спектральное поглощение в ультрафиолетовой области спектра.
Достигается это тем, что стекло содержит
2
указанное компоненты в следующих количествах, вес. %:
SiOz 67-76; СаО 1,5-12; ZnO 1-4; NaaO 7-15; АЬОз 0,5-5; ВаО 0,5-5; KjO 2-12 И, кроме того, SnO 0,5-2,0.
Пример (вес. %):
SiOo 71; АЬОз 2,5; СаО 6,0; ВаО 2,0; ZnC) 1,5; NaaO 12,5; КаО 3,5; SnO 1,0.
Предлагаемое стекло обладает следующими свойствами:
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| ЕООЮЗНАЯ I'•О •';^''^>&«г;":'^'?ДЙ | 1972 |
|
SU346257A1 |
| СТЕКЛО ДЛЯ СТЕКЛОВОЛОКНА | 1970 |
|
SU274314A1 |
| СТЕКЛО | 1970 |
|
SU416321A1 |
| СТЕКЛО | 1971 |
|
SU412157A1 |
| ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКОЕ СТЕКЛО | 1971 |
|
SU289065A1 |
| Стекло | 1979 |
|
SU852807A1 |
| ГЛАЗУРЬ ДЛЯ КЕРАМИЧЕСКИХ ИЗДЕЛИЙ | 1972 |
|
SU356255A1 |
| ЭМАЛЬ—--=v«a?. | 1973 |
|
SU370187A1 |
| ЭМАЛЬ | 1973 |
|
SU393224A1 |
| Стекло | 1976 |
|
SU617397A1 |
Предмет изобретения25 Стекло, включающее SiO2, СаО, ZnO, , AlaOa, BaO, K2O, отличающееся тем, что, с целью снижения спектрального поглощения в ультрафиолетовой области спектра, оно со- 30 держит указанные компоненты в следующих количествах, .вес. %: SiO2 67-76; СаО 1,5-12; ZnO 1-4; NaaO 7-15; АЬОз 0,5-5; ВаО 0,5-5; 2-12 и, кроме того, SnO 0,5-2,0.
