1
Изобретение от1нос«тся к области намерения неэлектрич-еских величин элект.ричеакими 1метадам-и и может быть иопользо-вано при контроле изделий с периодической структурой, образаваяиой ..множеством чередующи.чся цветных полос, наиример, в устройствах цветного телевидения (штрилавые экраны Ц1вет1ных кинескопов со сплошлым нанесением трехцветных люмниофорны х полос, .полосчатые цветофильтры видижонов и т. п.).
Известиьш фотоэлектрическим способом контроля невозможно получить .первичную информацию о погрешностях геометрии цветовой полосчатой струкгуры из-за отсутст1вия ко.нтраста перехода границ цветных полос.
Предлагаемый способ позволяет определить Ширину элементов контролируе.мой структуры, различающихся цветностью с известогой последовательностью .повторяю-щихся цветов. Для этого форми(руют ступенчатый видеоимпульс, ереобразуя световые сигналы в электрические на монотонно изменяющемся участке спектральной характеристики фотоприемника с существенно |ра.зличной чувствИтельнастью к длинам волн чередующи хся цветовых нолос, а затем определяют длительности ступеней видеонмяпульса, характер.изующих шир-ину цветовых полос.
Перемещение (сканирование) контролируемой С11руктуры с ч.ередующи.мися цветными полоса.ми относительно фотоприемника вызывае т в этом случае ступенчатое изменение его 1выходного тока.
В длительности полос получаемого ступенчатото электрического сигнала заложена пол(ная информация о геометрии структуры.
На фиг. 1 иллюстрируется принцип получения сгупенчатого электрического сигнала при контроле цветных полосчатых структур, где /-спектральная характеристика фотоэлектрического приемника; // - кситрол ируемая структура; III-ступенчатый электрический сигнал фотоэлектрического прнемника, 1де ширина ступеней (f) пропорциональна ширине цве|тных полос (К-красная полоса, 3 - зеленая, С - синяя).
На фиг. 2 изображена блок-схема устройства автоматического контроля геометрии экра.на цвелного кинескопа со сплошны.м люминоф.орньгм покрытием, реализующего предлагаемый способ.
Устройьтво Имеет источник ультрафиолетового излучения /, контролируемую структуру экрана 2, электромеханический блок переАгещения 5, объектив 4 оптического проектора, акран 5 оптического проектора, фотоэлектрический воспринимающий блок 6 со щелевым шаблоном-д-иафрагмой, блок 7 формирования И1М пульоов, измерительное и вычислительное устройство 8 и вы.ходное устройство 9.
