Известен способ получения легированных бором слоев, например, дну окиси кремния, осаждением их на подложку из газовой фазы с добавкой соединения бора.
Концентрация легирукмцего вещества в окисле контролируется относительными концентрациями легирующего вещества и вещества, содержащего полупроводниковый материал, в частности кремния, в газовой фазе.
Однако, известный способ связан .с использованием взрывоопасного и высокотрксичного диборана. Разбавление диборана аргоном приводит к нестабильности смеси во времени изза разложения диборана, что существенно влияет на воспроизводимость ре:3ультатов.-
Цель изобретения - обеспечение безопасности процесса и повышение воспроизводимости параметров получаемых слоев.
03241J
Для этого по предложенному способу в качестве соединения бора используют карбораны общей формулой ВпСдНр и их производные, например
5 изопрохипкарборан ,.
Использование карборановых соединений в качестве легирующих веществ позволяет повысить воспроизводимость процесса легирования слоев,
10 а также получать слои с низким содержанием бора, что затруднено при использовании других методов.
Пример. Для получения диффузионных слоев глубиной от 0,2-3 мкм
15 с поверхностной концентрацией от 2/10 -510 ат/см используют изопропилкарборан , жидкость с температурой кипения (хфи 760 мм рт.ст.) 287 С, упругостью насыденного пара
20 при 25 и соответственно рт.ст. В результате достигнута воспроизводимость результатов от процесса к процессу 43%, разброс по подложке не превышает ±10%.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|---|---|---|
| Способ создания легированных дельта-слоев в CVD алмазе | 2015 |
|
RU2624754C2 |
| Способ получения эпитаксиальных слоев | 1970 |
|
SU322115A1 |
| СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННОГО АЛМАЗА | 2013 |
|
RU2537491C2 |
| Способ получения локально легированной кремниевой плёнки с заданными характеристиками для устройств микроэлектроники | 2023 |
|
RU2817080C1 |
| СПОСОБ ЛЕГИРОВАНИЯ МАТЕРИАЛА И ЛЕГИРОВАННЫЙ МАТЕРИАЛ | 2005 |
|
RU2370464C2 |
| СПОСОБ ОПТИМИЗАЦИИ ПАРАМЕТРОВ ПРОЦЕССА ОСАЖДЕНИЯ ПЛЕНОК НА ПОДЛОЖКЕ | 1995 |
|
RU2086038C1 |
| СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК СО СТРУКТУРОЙ АЛМАЗА, ЛЕГИРОВАННЫХ БОРОМ | 2014 |
|
RU2585311C1 |
| СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ ЛЕГИРОВАНИЯ И ИЗМЕНЕНИЯ ТИПА ПРОВОДИМОСТИ АМОРФНОГО ГИДРОГЕНИЗИРОВАННОГО КРЕМНИЯ, СЛАБО ЛЕГИРОВАННОГО АКЦЕПТОРНЫМИ ПРИМЕСЯМИ | 2016 |
|
RU2660220C2 |
| АЛМАЗ, ЛЕГИРОВАННЫЙ БОРОМ | 2002 |
|
RU2315826C2 |
| НАНЕСЕНИЕ ЛЕГИРОВАННЫХ ПЛЕНОК ZnO НА ПОЛИМЕРНЫЕ ПОДЛОЖКИ ХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ ПОД ВОЗДЕЙСТВИЕМ УФ | 2010 |
|
RU2542977C2 |
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЛЕГИРОВАННЫХ БОРОМ СЛОЕВ, например, двуокиси кремния, осаждением их на подложку из газовой фазы с добавкой соединения бора, отличающийся тем, что, с цепью обеспечения безопасности процесса и повьнпения воспроизводимости параметров получаемых слоевf 'в качестве соединения бора используют карбонаты общей формулы В^С^Н^^^и их производные, например, изопропилкарборан B,gC,jH|g.
