СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИКОВ В ЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ Советский патент 1973 года по МПК H01J37/26 

1

Изобретение относится к области электронной микроскопии.

Известен способ получения изображения диэлектриков в электронном микроскопе путем разрядки поверхности пучком медленных электронов, формируемых вспомогательной электронной пугикой (приставка к микроскопу JEM-100L для получения электронограмм на отражение с диэлектрических образцов),

Способ нейтрЗьТизации поверхностного заряда путем облучения диэлектрического образда пучком медленных электронов не дает хороших результатов в растровом электронном микроскопе (РЭМ) с высоким ускоряющим напряжением и хорошим геометрическим разрешением лри .работе в режиме сбора вторичных электронов из-за сильного фона отраженных от образца электронов, используемых для разрядки поверхности.

Цель изобретения - уменьшение влияния фонда вторичных электропов от п чка медленных электронов на формирование изображения диэлектрических образцов в РЭМ.

Цель достигается тем, что при осуществлении предлагаемого способа получения изображений в РЭМ нейтрализацию поверхностного заряда пучком медленных электронов производят только во время обратного хода строчной развертки первичного пучка, формирующего изображение.

Пучок медленных электронов попадает на образец только в те моменты времени, когда информация о состоянии поверхности образца, переносимая вторичиьгми электронами, выбитыми первичным растрирующих пучком, не отображается на экране электронно-лучевой трубки РЭМ; тем самым осу1цествляется разрядка поверхности образца без ухудшения геометрического разрешения и появления вредного фона (в видеосигнале) отраженных от образца электронов из вторичного пучка.

Блок-схема устройства, реализующего предлагаемый способ, представлена на чертеже.

В колонне 1 РЭМ с диэлектрическим образцо.м 2, облучаемым первичным пучком 3 электронов, установлена лушка 4 медленных электронов, которая нормально заперта и отпирается положительными импульсами, .поступающими на ее модулятор от формирователя 5, запускаемого гасящими импульсами обратного хода строчной развертки с видеоблока 6.

Первичный пучок 3 электронов развертывается по поверхности образца 2 -и .заряжает ее, если проводимость образ-ца мала и не работает иущка 4. При включении йуш-ки 4 положительными имйульсами, Поступающими от формирователя 5 в те моменты времени, когда изображение на экране ЭЛТ видеоблока отсутствует, эта пушка обеспечивает (при подборе соответствуюоцего тока и ускоряющего напряжения) разрядку образца после прохождения каждой строки. При этом фон медленных электронов, генерируемых тушкой 4, не накладывается на полезный видеосигнал.

Предмет изобретения

Способ получения изображения диэлектриков в электронном мнкроскоие, например в

раствором, с пснтрализацие ) пучком медленных электронов поверхностного заряда на образце, вносимого первичным электронным пучком, формирующим изображение, отличающийся тем. что с целью уменьшения влияния фона вторичных электронов от пучка медленных электронов на формирование изображения, нейтрализацию поверхностного заряда производят во время обратного хода строчно развертки первичного пучка.