ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКАЯ ФОКУСИРУЮЩАЯ СИСТЕМА Советский патент 1973 года по МПК H01J37/26 H01J29/62 

1

Изобретение относится к электронной оптике и может служить для улучшения качества электронно-оптического изображения, например в электронных микроскопах.

Известна электростатическая фокусирующая система со скомпенсированной сферической аберрацией ширины изображения для фокусировки заряженных частиц, состояш,ая из двух последовательно расположенных пятиэлектродных квадрупольно-октупольных линз. Каждая линза содержит четыре внутренних электрода, на которые подается квадрупольное питание, и пятый наружный, охватываюш;ий их.

Вследствие подачи регулируемой разности потенциалов между внутренними и наружными электродами возникает октупольная составляюшая, за счет которой сферическая аберрация третьего порядка изменяет величину и знаки, в частности, обращается в нуль.

Однако известная система из нятиэлектродных линз не позволяет эффективно использовать пучок, так как при компенсации сферической аберрации третьего порядка широкие пучки подвержены влиянию сферической аберрации более высоких порядков, например пятого, которая может достигать значительной величины. Это обстоятельство, в свою

очередь, препятствует получению высокого качества изображения для широких пучков.

Целью изобретения является новышение эффективности использования пучка и улучшение качества создаваемого системой изображения за счет одновременной компенсации сферической аберрации третьего и пятого порядка.

Для этого охватывающий электрод линзы выполнен составным, четыре части которого симметричны относительно двух взаимно перпендикулярных плоскостей, проходящих через оптическую ось линзы, с угловыми зазорами, меньшими угловых зазоров между внутренними электродами.

Изобретение пояснено чертежом.

На чертеже приведена схема конструкции варианта системы.

Электростатическая фокусирующая система содержит внутренние электроды 1, 2, 3, 4, внутренний радиус которых равен Ri, четыре части 5, 6, 7, 8 охватывающего электрода, внутренний радиус которых равен 2. наружный электрод 9, который является общим для всей совокупности линз, расположенных последовательно и образующих фокусирующую систему, угловой зазор а между внутренними электродами, угловой зазор б между внешними электродами.