ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ИЗЛ\ЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ РАЗМЕРОВ ОБРАЗЦОВЫХ ОПТИЧЕСКИХ ДЕТАЛЕЙ Советский патент 1974 года по МПК G01B9/02 

1

Изобретение относится к нзмеритель(оГ1 техннке н может найтн применение в оптикомеханической промышленности для измереиия высоты образцовых деталей, имеющих вид конуса, усеченного конуса, нирамгаы или нрнзмы с углом при вершине 90°.

Известен интерференционный способ пзл;ерепия линейных размеров образцовых опгпческнх деталей, например длины нлоскопараллельных концевых мер, на интерферометре с источником белого света, заключающийся в сравнении измеряемой детали с исходиой, при котором разность длины определяется непосредственно но величине смещенпя полос нулевого порядка, наблюдаемых на измерительных поверхностях сравниваемых деталей. При этом измеряемая разность определяется в длинах световых воли. Погрешность измерения порядка ±0,1 мкм. Однако непосредственно использовать способ для измерения высоты конусов и призм из прозрачного материала с угло.м при вершине 90° не представляется возможным вследствие отсутствия второй измерительной плоскости у конической детали.

С целью возможности измерения высоты конусов и призм из прозрачного материала с углом при вершине 90° ло предлагаемому способу используют в качестве и-сходпои детали аттестованную плосконараллельную пластину, изготовленную из того же материала, что н измеряемая деталь, а расстояние между ее плоскими поверхностями равно удвоелпойвысоте конуса или нризмы.

5 На фиг. 1 изображеиа схема для изме;)ения высоты конусов и призм из прозрачного материала с углом при вершине 90° на дкухлучевом «нтерферО:метре; на . 2 - в.ид поля зрения интерферометра при измеренил,

0 В рабочую ветвь интерферометра устанавливают измеряемый конус / с предварительно притертой к иижнему основанию зеркала 2. В эталонную ветвь интерферометра к зеркалу 5 притирают аттестованную цлоскоиараллель5 ную пластину 4 с размером удвоенной высоты конуса н 1зготовлеииую из того же материала.

Лучи белого света, идущие от источника (иа схеме не ноказаи), падают на поверхность светоделптельной пластины 5, где разделяются на два пучка.

Предлагаемый способ осуществляют следующим образом. Один пучок света отражается от пластины

5 5 и надает но нормали на прозрачную аттестованную нластииу 4. Одна часть этого пучка отражается от вер.хней поверхности пластины, другая часть проходит пластину и отражается от зеркала 3, затем обе части пучка

0 идут в обратном направлении, проходят пла