УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ СМОТРОВЫХ ОКОН ВАКУУМНЫХ КА.МЕР ОТ ЗАПЫЛЕНИЯ Советский патент 1974 года по МПК C23C14/52 

1

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано для наблюдения за процессами при нанесении покрытий из парогазовых сред.

Известно устройство для защиты смотровых окон вакуумных камер от запыления, содержащее встроенный в стенку камеры тубус со смотровым стеклом и штуцером для подачи газа.

.И 1на€ыщени,и покрытий ,из парогазовых сред применение обдува смотрового стекла несколько уменьщает, но не устраняет конденсацию на стекле и стенках корпуса. В результате этого измерение температуры подложки через смотровое окно оптическими методами, например, с помощью пирометра, невозможно при пуске в установку паров хлоридов и других агрессивных легколетучих соединений.

Цель изобретения - исключить конденсацию продуктов испарения на смотровом стекле в процессе получения покрытий из парогазовой фазы.

Это достигается тем, что устройство снабжено прозрачным диском, установленным в тубусе с помощьюпористых прокладок.

На чертеже представлена конструкция предлагаемого устройства.

Устройство состоит из встроенного в стенку камеры 1 тубуса 2 со смотровым стеклом 3 и штуцером 4 для подачн газа, прозрачного днека 5, установленного в тубусе 2 с помощью пористых прокладок 6. Стекло 3 укреплено в тубусе с помощью прокладок 7 и фланца 8.

Торец тубуса 2 со стороны реакционной камеры I выполнен так, что образует посадочное 1место для тугоплавкого лрозрачного диска 5. Диск 5 расположен пористыми прокладками 6 и закреплен с помощью прижимной втулки 9 и гайки 10.

Прокладки 7 выполнены из вакуумной резины, фторопласта, прокладки 6 - из графита, например, марки ГЭ с пористостью до 30%, пористых керамики и металла.

Устройство работает следующим образом.

Перед началом процесса в зазор между стеклом 3 и диском 5 вводят газ, например, аргон, при давлении, избыточном по отношению к давлению газов в реакционной камере. Газ через отверстие в прижимной втулке 9 поступает к пористым прокладкам 6 и, далее, через поры в прокладках 6 и между поверхностями диска 5 и прокладок 6 в камеру 1, омывая диск 5 и оттесняя от него парогазовую смесь.

Предмет изобретения

Устройство для защиты смотровых окон вакуумных камер от. запыления, содержащее встроенный в стенку камеры тубус со смотровым стеклом и щтуцером для подачи газа, отличающееся тем, что, с целью исключения конденсации нродуктов испарения на смотровом стекле в процессе получения покрытий

из парогазовой фазы, оно снабжено прозрачным диском, установленным в тубусе с помощью пористых прокладок.