СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОБИВНОГО НАПРЯЖЕНИЯ ;?-п-ПЕРЕХОДОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ С ЛАВИННЫМ МЕХАНИЗМОМ ПРОБОЯ Советский патент 1974 года по МПК H01L21/66 G01R31/26 

1

Изобретение относится к технике измерений электрических параметров полупроводниковых приборов и может быть использовано при исследовании, разработке и контроле параметров в процессе серийного изготовления полупроводниковых приборов.

Известные способы измерения пробивных напряжений полупроводниковых приборов предусматривают подачу на р-я-переход постоянного или импульсного нарастающего напряжения. Напряжение, подаваемое на р-ппереход, увеличивают до тех пор, пока в цепи р-«-перехода не установится величина тока, заданная нормой на данный тин прибора. При заданном токе измеряют напряжение на /J- г-переходе измерительным прибором.

Однако установленная норма тока для определения пробивного напряжения не характеризует границу между предпробойной областью напряжения и областью пробивного напряжения. В зависимости от вольтамперной характеристики прибора и от наличия различных дефектов в приборе измеренное напряжение может находиться как в предпробойной области, так и в области пробоя. Измерения в области пробивного напряжения могут привести к мгновенному выходу контролируемого прибора из строя или к появлению в нем скрытых дефектов, снижающих надежность полупроводникового прибора.

Цель изобретения - повышение точности измерений.

Цель достигается тем, что по предлагаемому способу на импульсы низкочастотного напряжения, подаваемые на контролируемый р-п-переход, накладывают высокочастотный сигнал и в момент прохождения через нуль высокочастотной фазовой характеристики р-«-перехода измеряют текущее значение амплитуды на р-/г-переходе, равное напряжению пробоя.

Блок-схема устройства, реализующего предлагаемый способ, представлена на чертеже.

Пробивное напряжение измеряют следующим образом.

Генератор / нарастающего низкочастотного напряжения вырабатывает импульсы, на которые накладываются импульсы высокочастотного напряжепия от генератора 2, частоту которого выбирают из условия монотонного уменьшения фазовой характеристики. Сформированное смесителем 3 напряжение подают па контролируемый р-/г-нереход 4.

Приложенное напряжение создает в цепи р-я-перехода ток. С токосъемного резистора 5 снимают падение напряженпя, отфильтровывают высокочастотную составляющую фильтром бис помощью фазочувствительного

устройства 7 выделяют напряжение характеристики изменения фазы между током и напряжением высокой частоты в цепи / -«-перехода.

Напряжение снимается с р-/г-перехода в момент времени, когда характеристика изменения фазы, уменьшаясь, достигает нулевого значения. В этот момент нарастающее напряжение на р-«-переходе достигает величины пробивного напряжения.

Пробивное напряжение р-/г-перехода измеряют с помощью измерительного прибора 8, подключенного параллельно цепи р--п-переход - токосъемный резистор. Порог чувствительности рег)лируется пороговым устройством 9.

Предмет изобретения

Способ измерения пробивного напряжения р-«-переходов полупроводниковых приборов

с лавинным механизмом пробоя путем подачи низкочастотных импульсов нарастающего напряжения на измеряемых р-«-переход, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерений, на подаваемые импульсы

низкочастотного напряжения накладывают высокочастотный сигнал и в момент прохождения через нуль высокочастотной фазовой характеристики р-«-перехода измеряют текущее значение амплитуды на р-«-переходе,

равное напряжению пробоя.