1
Настоящее изобретение относится к области контроля параметров полупроводниковых приборов.
Известны приборы для измерения S-образных вольт-амперных характеристик лолупроводниковых приборов (динисторов, лавинных транзисторов и др.), которые содержат испытуемый прибор, сое диненный через резистор с источликом питания, пиковые детекторы и .вольтметры.
Данные приборы позволяют определять ословлые параметры S-образной характеристики лутем последовательного снятия ее точек по показаниям приборов или на экране осциллографа. Такие измерения очень трудоемкн, тре&уют больших затрат времени и часто имеют лизкую точность.
С целью повышения точности измерений и одновременной регистрации трех параметров .S-образной вольт-амперлой характеристики .параллельно клеммам испытуемого прибора включены емкость и цепь из детектора .и первого вольтметра, оараллельно с которым соединены емкость и последовательно включенные второй вольтметр и третий вольтметр, параллельно с которым соединен детектор, подключенный через емкость к клеммам испытуемого прибора.
/На чертеже изображена схема устройства. Оно содержит: испытываемый прибор 1, зарядный резистор 2, лакопительную емкость 5, конденсаторы вольтметров 4, 5, детекторы 6, 7, вольтметр «апряжения включения 8, вольтметр напряжения выключения 9, :вольтметр разности лапряжений включения и выключения 10.
|Устройство работает следующим образом.
.Конденсатор 3 периодически заряжается через резистор 2 и быстро разряжается через прибор 1. В результате на приборе получается: пилоо.бразлое лапряжение.
КаК известно из теариш релажсациоашых генераторов, при достаточло больщом значении вм1касти С в.ключение лрибора П роисхо.дит точно при папряжении ;вкл, а выключение - при напряжении Увыкл- Траектория движения рабочей точки показана стрелками.
Амплитудлый вольтметр с закрытым входом (колденсатор 4 и диод 5) измеряет амплитуду пилообразного напряжения, т. е. разность ( вкл- выкл). Эта величина показывается обычным высокоомным вольтметром 6.
Амплитудный вольтметр с открытым входом (диод 7 и конденсатор 8) измеряет максимальное мгновенное значение выходного напряжелия {/„кл релаксатора (колденсатор 8 заряжается до уровня бикл). Следовательно, вольтметр 8 показывает напрялсение f/вкл
Вольтметр 10 измеряет разницу напряжелий ам:плиту дных 1вольтметров, которая равла
t/вкл -- (t/вкл - UBKK.I ) выкл- Следовательно, он дает прямой отсчет f/выкл у
Таким образом, схема осуществляет одновременный Отсчет напряжений DBK.I, выкл и (f/вкл- Увыкл). Поскольку ЭТИ напряжения значительны, то погрешность диодных вольтметров оказывается небольшой. -Поскольку погрешности при измерениях 7вкл и f/BbiK-i оказываются практически идентичными при жшользовании одинаковых (диодов 5 и 7 и конделсатороз 4 и 8, то минимальная величина бвыкл измеряется практически без дополнительной погрешеости (погрешности диодных вольтметров взаимно уничтожаются и остается только погрешность индикатора 10).
Благодаря измерению в типовой схеме релаксационного генератора, измеренные значения UBK и более достоверны, чем при известных способах измерения. Схема значительно проще, че,м обычные схемы характериографов, и позволяет производить более быстрый замер. При использовании цифровых регистрирующих приборов 6, 9 н 10 процесс измерения может быть полностью автоматизирован.
Предлагаемое устройство может быть применено для измерения параметров различных приборов, имеющих 5-.образ ную 1вольт-амперную характериствку: динисторав, тиристоров, однопереходйых транзисторов и др.
Предмет изобретения
Устройство для измерения параметров полупроводниковых приборов с S-образной характеристикой, содержащее .источник питания, нагрузочный резистор, детекторы и вольтметры, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения и одновременной регистрации трех параметров S-образной вольтамперной хара1ктери1стики, параллельно клеммам испытуемого прибора включены емкость и цепь из детектора и .первого вольтметра, параллельно с которым соединены емкость и .последовательно включенные второй вольтметр и третий вольтметр, параллельно с которым соединен детектор, подключенный через емкость к клеммам испытуемого прибора.
Д. JL
