Микроскоп совмещения Советский патент 1974 года по МПК G02B21/18 G02B21/00 G02B27/40 

1

Изобретение относится к микроскопии и предназначено для совмещения (по реперным знакам) фотоша блона с пластинкой кремния при изготовлении микросхем в микроэлектронной промышленности.

Известные микроскопы, содержащие объектив и окуляр, не обеспечивают необходимой точности и эксплуатационных удобств. Так как при совмещении наблюдатель должен одновременно видеть плоскости фотошаблона и пластины, то величина зазора между ними не должна превышать глубины резкости микроскопа, что ограничивает выбор рабочих увеличений.

Предлагаемый микроскоп отличается от известных тем, что за объективом установлен делитель светового нучка, выполненный в виде двух плоскопараллельных светоделительных пластин, расположенных под углом к оптической оси, и установленной с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном к оптической оси, призмы.

Это позволило одновременно наблюдать объекты, расположенные в плоскостях, разнесенных на некоторое расстояние вдоль оптической оси.

На чертеже представлена принципиальная схема предлагаемого микроскопа совмещения.

Микроскоп содержит объектив 1, окуляр 2 и делитель светового пучка, выполненный в виде двух плоскопараллельпых полупрозрачных светоделительных пластин 3 и 4, расположенных под углом 45° к оптической оси, и прямоугольной призмы 5. В предметной плоскости 6 находится кремниевая пластинка 7, а в плоскости 8 - фотошаблон 9. Расстояние между плоскостями 6 и 8 превышает глубину резкости микроскопа.

Микроскоп обеспечивает одновременное на: блюдение плоскостей 6 и 8 за счет вносимой

делителем разности хода лучей в разделенные ветви.

Смещением прямоугольной призмы в направлениях, перпендикулярных к оптической оси, можно регулировать величину зазора

между фотошаблоном и кремниевой пластинкой.

Предмет изобретения

Микроскоп совмещения, содержащий объектив и окуляр, от л ич ающий ся тем, что, с целью одновременного наблюдения объектов, расположенных в двух плоскостях, разнесенных на некоторое расстояние вдоль оптической оси, за объективом установлен делитель светового пучка, выполненный в виде двух плоскопараллельных светоделительных пластин, расположенных под углом к оптической оси, и установленной с возможностью перемеп;ения в направлении, перпендикулярном к оптической оси, призмы.