Криоадсорбционный насос Советский патент 1974 года по МПК F04B37/02 

Изобретение огносигся к устройствам для низкотемпературной адсорбции.

Известен криоадсорбционный насос, содержащий емкость для криогенной жидкости и жестко укрепленную на ее наружной поверхности камеру для мелкодисперсного адсорбентао

Однако большие размеры насоса, сложность его изготовления, невозможность применения порошковых адсорбентов и попадание частиц адсорбента в вакуумируемое устройство ограничивают применение известного насоса.

Цель изобретения - увеличение производительности и исключение попадания пыли в вакуумируемое устройство - достигается тем, что стенки камеры для адсорбента изготовлены из пористого оптически непрозрачного материала с высоким коэффициентом теплопроводности

Пористую стенку можно подучить путем спекания медного порошка

Насос, схема которого изооражена на чертеже, работает следующим образом. Емкость I заливают криогенной жидкостыоо Пористая

стенка 2 за счет высокого коэффициента теплопроводности материала, из которого она выполнена, быстро приобретает температуру, близкую к температуре криогенной жидкости,

что способствует эффективному охлаждению адсорбента 3 и отводу теплоты сорбции.

Вследствие того, что рост коэффициента прилипания за счет охлаадения газа в порах итенки компенсируют уменьшение :коэффищещта захвата, вызванное сопротивлением пористой стенки, достигаются высокие удельные скорости откачки.

ПРЕДМЕТ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Криоадсорбционный насос, содержащий емкость для криогенной жидкости и жестко укрепленную на ее наружной поверхности каперу для

иедкодиспврсного адсорбента, отличающийся leu, чхо, с целью увеличения произБодител « носхи и исключения попадания пыли в вакуумируемое усгройство, cieaки камеры для адсорбента выполнены из пористого оптически не- прозрачного материала с высокий коэффициентом теплопроводности

г