УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ФИЗИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПЛЕНОК Советский патент 1974 года по МПК G01B21/02 G01N27/82 

1

Изобретение относится к области неразрушающих методов контроля и может быть использовано в толщинометрии, например, для неирерывного контроля толщины или поверхностного сопротивления напыленного слоя, наносимого на конденсаторные диэлектрики, в процессе вакуумной металлизации.

Известное устройство для измерения физических параметров тонких поверхностных пленок содержит генератор, токовихревой преобразователь, емкостной преобразователь, усилитель и индикатор.

Однако в известном устройстве необходимо заземление электронроводящего слоя, что снижает надежность контроля, особенно при непрерывном контроле движущегося изделия. Кроме того, нанряжение, сннмаемое с емкостного преобразователя, компенсирует часть напряжения, снимаемого с токовихревого преобразователя.

Для повыщения надежности контроля иредлагаемое устройство снабжено донолнительной индуктивностью, емкостной преобразователь выполнен в виде двух пластин, расположенных в рабочей торцовой поверхности токовихревого преобразователя, и образует с дополнительной индуктивностью колебательный контур.

На чертеже изображена блок-схема предлагаемого устройства.

К одному из выходов генератора 1 последовательно подключены эмиттерный повторитель 2, токовихревой нреобразователь 3, эмиттерный повторитель 4, усилитель 5, амплитудный детектор 6, усилитель 7 постоянного тока, на выходе которого включен индикатор 8. К другому выходу генератора 1 нодключен эмиттерный повторитель 9 иемкостной преобразователь 10.

Устройство работает следующи.м образом. Накладной токовихревой преобразователь 3 питается от генератора I через эмиттерный повторитель 2. Сигнал с токовихревого преобразователя через эмиттерный повторитель 4,

усилитель 5, амплитудный дектор 6 и усилитель 7 постоянного тока поступает на индикатор 8. Емкостной преобразователь 10 питается также от генератора 1 через эмиттерный повторитель 9.

Вихревые токи, индуцируемые в проводящем материале полем емкостного преобразователя 10, сдвинуты на 180° относительно вихревых токов, индуцируемых токовнхревым преобразователем 3, вследствии чего достигается положение, когда результирующее поле токовихревого преобразователя, а следовательно, и выходное нанряжение на нем прн изменении величины зазора в некотором диапазоне остается неизменным.

Предмет изобретения

Устройство для измереЕ1ия физических иараметров тоиких иоверхностных плеиок, содержащее геиератор, токовихревон преобразователь, емкостной преобразователь, усилитель и индикатор, отличающееся тем, что, с

целью повыщения надежности контроля, оно снабжеио доиолнительиой индуктивностью, емкостной иреобразователь выиолнен в виде двух пластин, расположенных в рабочей торцовой поверхности токовихревого преобразователя, и образует с доаолнителыюй индуктивностью колебательный контур.