Устройство для измерения толщины покрытий Советский патент 1975 года по МПК G03C17/00 

Изобретение может применяться, например, при изготовлении оптических покрытий в вакууме.

Известно устройство для измерения толщипы покрытий, включающее смонтированные в вакуумной камере осветитель с зеркалом, жестко закрепленные относительно базовой плиты, фотометрическое окно и держатель с подложками.

Однако в таком устройстве нельзя измерить оптические характеристики покрытия в процессе его изготовления на разных расстояниях от оси держателя.

Целью настоящего изобретения является измерение оптических характеристик покрытия на любом расстоянии от оси держателя без разгерметизации вакуумной камеры и без перестройки оптической схемы фотометра.

Это достигается тем, что осветитель и система зеркал жестко закреплены относительно друг друга на полом валу, установленном в подшипниках с возможностью вращения параллельно оси держателя на расстоянии не менее чем половина его диаметра.

На чертеже схематически изображено предложенное устройство.

В вакуумной камере 1 смонтированы испарители 2 и держатель 3 с образцами 4 и 5. Осветитель 6 с зеркалом 7 с помощью верхнего кронштейна 8 жестко закреплен на валу 9, вращающемся в подшипниках 10, установленных на плите 11. На валу с помощью нижнего кронштейна 12 также закреплена система зеркал 13, 14, отклоняющая световой пучок, прошедший подложку, на ось вращения вала, совпадающий с осью фотометрического окна 15. Таким образом, ось вращения осветителя и системы зеркал совпадает с осью

вращения вала и фотометрического окна.

Световой иучок с помощью отклоняющей системы направляется на подложку с нанесенным на нее оптическим покрытием. Далее световой пучок, прошедший подлол ки или отраженный от них, проходит фотометрическое окно, ось которого совпадает с осью вращения осветителя в отклоняющей системе.

Для обеспечения прохождения светового пучка вдоль оси вала он выполнен полым.

Расстояние между осью вращения осветителя с зеркальной системой и осью держателя, в пределах которого требуется обеспечить измерение оптических характеристик покрытия в процессе его изготовления, выбирается

не менее чем половина диаметра держателя. Крепление осветителя, зеркал и кронштейнов предусматривает необходимые подвижки для юстировки фотометрической системы и обеспечения заданного угла падения светового пучка на покрытие.

Управление разворотом вала 9 с осветителем 6 и системой зеркал 7, 13, 14 вокруг его оси легко осуществляется извне вакуумной камеры.

Предмет изобретения

Устройство для измерения толщины покрытий в процессе их нанесения, например на стеклянные подложки, содержащее смонтированные в вакуумной камере осветитель с системой зеркал, фотометрическое окно л держатель с подложками, отличающееся тем, что, с целью обеспечения замера толщины покрытия на любом расстоянии от оси держателя без разгерметизации вакуумной камеры, осветитель и система зеркал жестко закреплены относительно друг друга на полом валу, установленном с возможностью вращения параллельно оси держателя на расстоянии не менее чем половина его диаметра.