Прибор для измерения толщины прозрачных пластин Советский патент 1975 года по МПК G01B11/06 

Изобретение относится к устройствам автоматического контроля и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины прозрачных пластин.

Известен прибор для измерения толщины прозрачных пластин, содержащий газоразрядный источник света с блоком управления световым лучом и оптическую систему, расположенные по одну сторону от измеряемой пластины, фотонриемники, установленные на базовом расстоянии друг от друга по другую сторону измеряемой пластины, и регистратор временного интервала.

Предложенный прибор отличается тем, что он снабжен блоком управления световым лучом, выполненным в виде генератора сантиметровых волн периодически изменяемой частоты и источником света, выполненным в виде помещенных в прозрачный балон двух протяженных электродов.

Это позволяет повысить быстродействие, надежность и уменьшить динамическую погрешность прибора.

На чертеже представлена принципиальная схема устройства.

Оно содержит прозрачный баллон 1, наполненный смесью инертных газов, двухпроводную линию 2, генератор 3 переменной частоты, точки 4 локального газового разряда, оптическую систему 5, прозрачную пластину 6,

фотоприемники 7 и 8 и регистратор 9 временного интервала между сигналами фотоприемников.

При питании двухпроводной линии 2 от генератора 8 переменной частоты сантиметровых волн в пучности электрического поля возникает локальный газовый разряд в виде светящейся точки 4, якрость и спектральный состав излучения которого определяются составом заполняющего баллон газа, его давлением, мощностью, подводимой к двухпроводной линии, и ее конструктивными особенностями. Изменение частоты генератора 3 по пилообразному закону, т. е. линейно, вызывает перемещение разряда вдоль двухпроводной линии с постоянной скоростью.

Изображение сканирующей светящейся точки 4 газового разряда с помощью оптической системы 5 посылается на прозрачную пластину б и после преломления поочередно попадает на фотоприемники 7 и 8, установленные по другую сторону контролируемой прозрачной пластины. Импульсы напряжения, возникающие при этом на фотоприемниках, поступают

в регистратор временного интервала 9. При постоянстве закона изменения частоты генератора сантиметровых волн частота сканирования и геометрическое место расположения газового разряда в двухпроводной линии остаются постоянными и интервал времени между

3

сигналами фотоприемников зависит только от толщины прозрачной пластины.

При изменении толщины контролируемой прозрачной пластины, например при ее увеличении, уменьщается скорость прохождения луча света между фотоприемниками и, соответственно, временной сигнал между имнульсами фотоприемников увеличивается на величину, пропорциональную приращению толщины.

Предмет изобретения

Прибор для измерения толщины прозрачных пластин, содержащий газоразрядный источник света с блоком управления световым лучом и оптическую систему, расположенные по одну сторону от измеряемой пластины, фотоприемники, установленные на базовом расстоянии друг от друга по другую сторону измеряемой пластины, и регистратор временного интервала, отличающийся тем, что, с целью повыщения надежности и уменьщения динамической погрещности, блок управления световым лучом выполнен в виде генератора сантиметровых волн периодически изменяемой частоты, а источник света - в виде помещенных в прозрачный баллон двух протяженных электронов.