Способ определения вакуума в герметизированных электровакуумных приборах Советский патент 1975 года по МПК G01L21/30 H01J9/42 

1

Изобретение относится к области определения вакуума в герметизированных электровакуумных приборах.

Известны способы контроля вакуума в отпаянных многоэлектродных электровакуумных приборах, в которых осуществляют ионизацию молекул газа модулированным электронным потоком и производят намерение переменной составляющей ионного тока, по величине которой оценивают давление остаточных газов.

При наличии поверхностной загрязненности одного из электродов прибора, используемого в качестве анода, его газовыделение при бом:бардировке электронным потоком резко увеличивается при повышении электронного тока. В этом случае заключение о степени газовыделения деталей, подвергающихся электронной бомбардировке, производят после анализа результатов, полученных при различных величинах электронного тока. Таким образом, известный способ не позволяет производить оперативный и достоверный контроль степени газоотделения деталей в герметизированных приборах.

Целью изобретения является устранение указанного недостатка. Достигается это тем, что дополнительно измеряют ток высших гармонических составляющих ионного тока, выделенный с помощью донолнительного заграждающего фильтра, настроенного на частоту

изменения электронного тока и по соотношению ионного тока первой гармоники и ионного тока высших гармоник судят о величине изменения вакуума.

Схема, поясняющая предложенный способ, показана на чертеже, где 1 - электронный вольтметр переменного тока; 2 - испытуемая многосеточная лампа; 3 - анод лампы 2 (коллектор электронов); 4 - третья (защитная)

сетка лампы 2 (коллектор ионов); 5 - первая (управляющая) сетка лампы 2; 6-- генератор переменного напряжения; 7 -усилитель; 8 - избирательный фильтр; 9 - заграждающий фильтр.

Контроль степени газоотделения анода 3 в испытуемой многосеточной лампе 2 осуществляют следующим образом.

На управляющую сетку 5 подают напряжение от генератора переменного напряжения

низкой частоты 6. В качестве коллектора электронов используют анод 3 лампы 2, на который подают напряжение положительной полярности и переменную составляющую электронного тока измеряют с помощью электронного вольтметра переменного тока 1. В качестве коллектора ионов используют третью (защитную) сетку 4 лампы 2, на которую подают напряжение отрицательной полярности. Переменную составляющую ионного тока, снимаемую с сетки 4 усиливают с помощью усилителя 7, (Имеющего два выхода. К одному выходу усилителя 7 подключают избирательный фильтр 8, а к другому - заграждающий флльтр 9, пр:ичем оба фильтра 8 и 9 настроены на частоту изменения электронного тока.

Если в процессе электронной бомбардировки будет иметь место газоотделение анода 3, . то при изменении электронного ионизирующего тока по синусоидальному закону, ионный ток будет изменяться по закону, отличающемуся от синусоидального, т. е. переменный ионный ток мелеет быть представлен в виде суммы гармонических составляющих. Присутствие в составе ионного тока кроме первой гармоники высших гармонических составляющих свидетельствует о газоотделен.и:и деталей, подвергающихся электронной бомбардировке, например анода 3. Ток первой гармоники ионного тока измеряют на выходе избирательного фильтра 8, а ток сум-мы высших гарМоиических составляющих измеряют на выходе заграждающего фильтра 9.

Чем больше газоотделение, тем больше форма изменения ионного тока отличается от синусоидальной и тем больше напряжение на выходе заграждающего фильтра 9 по сравнению с напряжением на выходе избирательного фильтра 8.

Необходимо учесть, что газоотделение является инерционным процессом, поэтому для

того, чтобы получить достоверные сведения о газоотделении деталей, подвергающихся электронной бомбардировке, необходимо модулировать электронный ионизирующий ток с достаточно низкой частотой, например 5-15 гц.

Предмет изобретения

1. Способ определения вакуума в герметизированных электровакуумных приборах путем ионизации остаточных газов переменным электронным током и измерения переменной составляющей ионного тока, выделенной с

помощью фильтра, настроенного на частоту изменения электронного тока, отличающийся тем, что, с целью обеспечения оперативного контроля степени газовыделения деталей, дополнительно измеряют ток высших

гармонических составляющих ионного тока, выделенный с помощью дополнительного фильтра, настроенного на частоту изменения электронною тока, и по соотношению ионного тока первой гармоники и ионного тока высших

гармоник судят о величине вакуума.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью повышения достоверности контроля степени газовыделения, электронный ток модулируют с низкой частотой например

5-15 ГЦ.

ff

-t-