(19)
SU
(11)
460 330
(13)
A1
(51)
МПК
C23C9/00(2000-01-01)
(21) (22)
Заявка
1900429, 1973-03-30
(22)
дата подачи заявки
1973-03-30
(45)
опубликовано
1975-02-15
(72)
авторы
Овчинников Валерий ИвановичМейлихов Даниэль СеменовичПетрова Мария СергеевнаЖураковский Василий МаксимилиановичКурдюков Владимир Алексеевич
Авторы
Овчинников Валерий Иванович
Мейлихов Даниэль Семенович
Петрова Мария Сергеевна
Жураковский Василий Максимилианович
Курдюков Владимир Алексеевич
Даты
1975-02-15—Публикация
1973-03-30—Подача
