Способ измерения толщины покрытий Советский патент 1975 года по МПК G01N23/22 

чение достаточно интенсивно и состоит в основном из характеристического излЗчсиия от выбранного в покрытии химического элемента, отсутствующего в основе.

Сиособ реализуется следующим образом.

На анод рентгеновской трубки наносят слс, нанример, железа, характеристическое излучение Ка -серии которого имеет длину волны

О

.1,937 А. Тогда ири иодаче анодного нанряжения в Полном спектре нервичного излучения появятся высокие пики, соответствующие упомянутой длине волны.

Излучение направляют на изделие, состоящее из основы и покрытия, нричем в качестве покрытия выбирают, иапример, аустенитную сталь с содержанием титана не менее 0,5%. В сталях, иснользуемых для основы, этот элемент практически отсутствует.

Так как К-оболочку атома титана может ионизировать излучение с длиной волны

о

,94 А, то первичное излучение с пиком

ири . 1,977 вызывает иитенсивное характеристическое излучение титана.

Излучение фиксируют детектором, расположенным над изделием со стороны покрытия, и по величине выходного тока судят о толщине покрытия.

Предмет изобретения

Способ измерения толщины покрытий, основанный на регистрации вторичного излучения, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью повышения точности измерений, выбирают химический элемент, присутствующий только в покрытии, и па аиод рентгеновской трубки, используемой в качестве источника излучения, наносят слой материала характеристического рентгеновского излучения, спектр которого имеет пик при энергии, нримерио равной потенциалу ионизации К-оболочки упомянутого химического элемепта, после чего фиксируют его характеристическое излучеиие, по интенсивности которого оценивают толщину покрытия.