Микроэлектронный преобразователь давления Советский патент 1975 года по МПК G01L23/18 

(54) МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ

кового материала, например кремния, с изготовленными в ней тензорезисторами, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, уменьшения геометрических размеров и улучшения температурной стабильности преобразователя, он снабжен изготовленными в мембране тензотранзисторами, коллекторные области которых соединены токоведушими дорожками с тензорезисторами одинакового с ними знака тензочувствительности, а базовые области - с тензорезисторами противоположного знака.

10 (Бых.од)