Автомат подбора варикапов в комплекты Советский патент 1975 года по МПК H01L21/66 G01R31/26 

1

Изобретение относится к автоматическим устройствам, предназначеииым для подбора варикапов по сопрягаемости вольтфарадных характеристик, и может испсльзоваться в полупроводниковом производстве.

Известиы устройства для измерения и отбора туннельных диодов, позволяющие разбраковывать приборы партиями, содержащие устройство задапия режима н индикаторное устройство.

Недостатком этих устройств является иизкая производительность, так как о соирягаемости вольтфарадных характеристик судят по изображен но их характер1 стик на экране осциллографа.

Цель изобретения - увеличение производительности контроля.

Поставленная цель достигается благодаря тому, что в автомат введены импульсный генератор, три группы логических схем «И, логические схемы «ИЛИ, триггеры и дополнительные исполнительные устройства.

На чертеже представлена функциональная схема предложенного автомата.

Автомат подбора варикапов в колчнлекты содержит устройства подачи варикапов на измерительпую позицию 1, блоки задания режимов 2, измеритель 3, триггер 4, первое исполнительное устройство 5, импульсный генератор 6, две группы логических схем «И 7, 8,

триггеры 9, третью группу логпческих схем «И 10, логические схемы «ИДИ 11, вторые исполиительные устройства 12 и эталонный варикап 13.

Автомат работает следующим образом.

Устройствами подачи 1 эталонный варикап 13 и варикап 14, подлежащий контролю, подаются на измерительную позицию. Блоки задания режима 2 задают необходимый для

сравпения режим. Выходные величины блоков задания подаются на входы измерителя, который производит сравнение вольтфарадных характеристик эталонного 13 и контролнруемого 14 варикапов. При сопрягаемых

характеристиках измеритель 3 выдает сигналы на триггер 4, который управляет исполнительным устройством 5, и варикан 14 направляется в тару; если же эталонный варикап 13 отличается по вольтфарадпым характеристикам от контролируемого 14, то последний направляется по отдельному каналу.

Генератор 6 делит период контроля на несколько частей (в рассматриваемом случае на

два полупериода). Выходные сигналы измерителя 3 подаются на две группы логических схем «И 7 и 8. В первый полуперршд контроля совпадение сигналов обеспечивается на одной из схем «И 7, в зависимости от того, емкость какого варикапа выще. Аналогично ра3

ботает вторая группа схем «И 8 во втором полупериоде контроля. Выходной сигнал каждой из схем «И 7 и

8воздействует па подключепный к ее выходу триггер 9, переводя его в другое устойчивое состояние. Если емкость контролируемого варикапа превышает емкость эталопного, в первый полупериод контроля срабатывает первый триггер 9, во второй полупериод - второй триггер 9; если же емкость эталонного варикапа превышает емкость контролируемого, в первый полупериод контроля срабатывает третий триггер 9, во второй полунернод - четвертый триггер 9.

К прямым и инверсиым выходам триггеров

9подключена группа логических схем «И 10 и «ИЛИ 11 так, что в случае более высокой емкости контролируемого варикапа сравнительно с емкостью эталонного в первый полупериод или в первый и второй нолупериоды возникает сигнал иа одном из выходов, к которому подключено одно из исполнительных устройств 12. Исполнительное устройство направляет этот варикап, не скомплектовавшийся с варикапом 13, в отдельную тару; если же емкость эталонного варикапа превышает емкость контролируемого, в первый или в первый и во второй полупериоды контроля выходной сигнал возникает на другом выходе, к которому также подключено исполнительное устройство 12, которое направляет этот варикап в другую тару.

Если емкость контролируемого варикапа превышает емкость эталонного в нервый полупериод, а во второй выше емкость эталопного, появляется сигнал па третьем выходе, и подключенное к нему исполнительное устройство 12 направляет такой нескомплектовавшийся варикап в третью тару. Если емкость эталонного варикапа превышает емкость контролируемого в нервом нолупериоде, а во втором полупериоде емкость контролируемого варикапа превышает емкость эталонного, возникает сигнал на четвертом выходе, который управляет четвертым исполнительным устройством 12, которое направляет такой прибор в четвертую тару.

После разгрузки контролируемого прибора

в одну из тар устройством подачи диодов 1

подается очередной контролируемый варикап

14, н процесс повторяется.

После окончания контроля всей партии отбракованные группы приборов пропускают через автомат. При необходимости возможно многократное разделение па группы.

Вследствие того, что приборы в группах при разделенни имеют более сходные вольтфарадные характеристики, отпадает необходимость сравнения приборов разных групп, так как вольтфаралЧные характеристики их резко отличаются, количество операций сравнения уменьшается.

,-т

Предмет изобретения

Автомат подбора варикапов в комплекты, содержаший устройство подачи варикапов на измерительную позицию, блоки задания режимов, измеритель, к выходам которого подключен триггер, управляюш,ий исполнительным устройством, отличающийся тем, что, с целью увеличения производительности, в него введены импульсный генератор, три

группы логических схем «И, логические схемы «ИЛИ, триггеры и дополнительные испо.тнительные устро 1ства, причем первые входы логических схем «И первой и второй групп соединены с выходами импульсного генератора, а вторые входы с выходами измерителя, при этом выход каждой схемы «И соединен с первым входом триггера, второй вход которого соединен со схемой сброса, а выходы соединены со входами логических схем

«И третьей группы, две пары которой соединены с дополнительными исполнительными устройствами, причем каждая через схему «П, а одна пара непосредственно.

. Jiif. -. -- r-Si--i- i 1-- -

J Li UJ Ш

J

ж I-к

Г/.Л J2