Коллекторная система растрового электронного микроскопа Советский патент 1976 года по МПК H01J37/26 

Описание патента на изобретение SU503316A1

3

подходит светопровод, и видеоусилителя. Изменяя напряжение на сетке 3, можно регулировать напряженность поля на образце, увеличивая напряженность при измерении поBcpxHCCTiibix потенц.пало.в с большими градиентами. Меняя потенциал электрода 4, можно фокусировать пучок вторичных электронов на входное отверстие электрода 5 линзы-фнльтра. Путем изменения потенциала L/-J вручную или автоматически (подавая пилообразное напряжение) можно снимать кривые задержки, по сдв-игу которых определяется разность потенциалов между исследуемыми точками новерхности образца. Анализируя кривые задержки, можно определить энергетический спектр вторичных электронов. Можно также визуализировать и измерять магнитные микроноля иа исследуемых образцах.

Формула изобретения

Коллекторная система растрового электронного макроскопа, содержащая блок с иммерсионным объективом и линзой-фильтром для сбора медленных вторичных электронов, энергетического анализа и измерения потенциалов на поверхности исследуемого образца, отличающаяся тем, что, с целью наблюдения микрополей, измерения энергетических спектров вторичных электронов и измерения потенциалов на образцах с поверхностной структурой любой сложности, увеличения полезного поля зрения, уменьшения воздействия на первичный пучок электронов, регулировки напряженности вытягивающего ноля, она снабжена установленной между образцом и анализирующим блоком сеткой, являющейся катодом иммерсионного объектива.

Похожие патенты SU503316A1

название год авторы номер документа
Растровый зеркальный электронный микроскоп 1974
  • Спивак Григорий Венниаминович
  • Лукьянов Альберт Евдокимович
  • Рау Эдуард Иванович
  • Иванников Валерий Павлович
SU506084A1
УСТРОЙСТВО для ИЗМЕРЕНИЯ ПОТЕНЦИАЛОВ 1970
SU272454A1
Растровый электронный микроскоп 1976
  • Иванников Валерий Павлович
  • Лукьянов Альберт Евдокимович
  • Новожилов Василий Павлович
  • Спивак Григорий Веньяминович
SU693483A1
Вторично-ионный масс-спектрометр 1989
  • Походня Игорь Константинович
  • Черепин Валентин Тихонович
  • Швачко Валентин Иванович
  • Дубинский Игорь Николаевич
  • Вайсберг Эрнст Исаакович
  • Голубовский Борис Григорьевич
SU1711260A1
Растровый электронный микроскоп 1977
  • Гавриков Сергей Иванович
  • Дюков Валентин Георгиевич
  • Коломейцев Михаил Иванович
  • Седов Николай Николаевич
SU682967A1
Устройство для измерения потенциала поверхности в растровом электронном микроскопе 1985
  • Денисюк Владимир Антонович
  • Добролеж Сергей Александрович
  • Клименко Вадим Григорьевич
  • Мень Яков Иосифович
SU1274028A1
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПОВЕРХНОСТНЫХ ПОТЕНЦИАЛОВ 1991
  • Суворинов Александр Владимирович
  • Титов Сергей Владимирович
  • Филипчук Татьяна Сергеевна
  • Шахбазов Сергей Юрьевич
RU2050326C1
Способ диагностики электрических полей в электронных приборах 1975
  • Соминский Г.Г.
  • Цыбин О.Ю.
SU548126A1
Устройство для измерения потенциала поверхности в растровом электронном микроскопе 1982
  • Трубин Владимир Еронович
  • Ракитин Анатолий Николаевич
  • Циунелис Владислав Георгиевич
SU1058006A1
ВТОРИЧНО-ИОННЫЙ МАСС-СПЕКТРОМЕТР 1991
  • Абесаломов М.К.
  • Афанасьев В.П.
  • Федорович С.Д.
  • Щербаков А.Ю.
RU2012089C1

Иллюстрации к изобретению SU 503 316 A1

Реферат патента 1976 года Коллекторная система растрового электронного микроскопа

Формула изобретения SU 503 316 A1

Г

Л

У

SU 503 316 A1

Авторы

Рай Эдуард Иванович

Петров Виктор Иванович

Спивак Григорий Вениаминович

Лукьянов Альберт Евдокимович

Даты

1976-02-15Публикация

1974-04-10Подача