Коллекторная система растрового электронного микроскопа Советский патент 1976 года по МПК H01J37/26 

3

подходит светопровод, и видеоусилителя. Изменяя напряжение на сетке 3, можно регулировать напряженность поля на образце, увеличивая напряженность при измерении поBcpxHCCTiibix потенц.пало.в с большими градиентами. Меняя потенциал электрода 4, можно фокусировать пучок вторичных электронов на входное отверстие электрода 5 линзы-фнльтра. Путем изменения потенциала L/-J вручную или автоматически (подавая пилообразное напряжение) можно снимать кривые задержки, по сдв-игу которых определяется разность потенциалов между исследуемыми точками новерхности образца. Анализируя кривые задержки, можно определить энергетический спектр вторичных электронов. Можно также визуализировать и измерять магнитные микроноля иа исследуемых образцах.

Формула изобретения

Коллекторная система растрового электронного макроскопа, содержащая блок с иммерсионным объективом и линзой-фильтром для сбора медленных вторичных электронов, энергетического анализа и измерения потенциалов на поверхности исследуемого образца, отличающаяся тем, что, с целью наблюдения микрополей, измерения энергетических спектров вторичных электронов и измерения потенциалов на образцах с поверхностной структурой любой сложности, увеличения полезного поля зрения, уменьшения воздействия на первичный пучок электронов, регулировки напряженности вытягивающего ноля, она снабжена установленной между образцом и анализирующим блоком сеткой, являющейся катодом иммерсионного объектива.

Г

Л

У