Способ легирования полупроводников Советский патент 1982 года по МПК H01L21/265 

Описание патента на изобретение SU504435A1

Похожие патенты SU504435A1

название год авторы номер документа

Реферат патента 1982 года Способ легирования полупроводников

Формула изобретения SU 504 435 A1

SU 504 435 A1

Авторы

Хайбуллин И.Б.

Зарипов М.М.

Штырков Е.И.

Галяутдинов М.Ф.

Баязитов Р.М.

Даты

1982-11-15Публикация

1974-02-21Подача