(19)
SU
(11)
504 435
(13)
A1
(51)
МПК
H01L21/265(2000-01-01)
(21) (22)
Заявка
1998977, 1974-02-21
(22)
дата подачи заявки
1974-02-21
(45)
опубликовано
1982-11-15
(72)
авторы
Хайбуллин И.Б.Зарипов М.М.Штырков Е.И.Галяутдинов М.Ф.Баязитов Р.М.
Авторы
Хайбуллин И.Б.
Зарипов М.М.
Штырков Е.И.
Галяутдинов М.Ф.
Баязитов Р.М.
Даты
1982-11-15—Публикация
1974-02-21—Подача