Формула изобретения
Тензоакселерометр, содержащий корпус с расположенными в нем консольно защемленной кремниевой балкой с инерционной массой на конце, тензорезисторами, включенными по мостовой схеме, и стабилизирующим температуру элементом, отличающийся тем, что,
с целью уменьщения времени подготовки тензоакселерометра к работе, уменьщения его габаритов, веса и потребляемой мощности, в нем стабилизирующий температуру элемент выполнен в виде диффузионного резистора, расположенного на балке вокруг тензорезисторов.
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Акселерометр | 1978 |
|
SU681376A1 |
Тензоакселерометр | 1977 |
|
SU699437A1 |
СИЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ДАТЧИК | 1972 |
|
SU353159A1 |
Тензоакселерометр | 1982 |
|
SU1138748A1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ БАЛОЧНОГО ТИПА | 2012 |
|
RU2520943C2 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С БАЛОЧНЫМ УПРУГИМ ЭЛЕМЕНТОМ | 2016 |
|
RU2619447C1 |
УСТРОЙСТВО для ИЗМЕРЕНИЯ ДАВЛЕНИЯ | 1968 |
|
SU220589A1 |
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 2003 |
|
RU2235981C1 |
Устройство для градуировки тензо-РЕзиСТОРОВ пРи НизКиХ ТЕМпЕРАТуРАХ | 1979 |
|
SU847006A1 |
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | 1998 |
|
RU2166741C2 |
(flits,1
Авторы
Даты
1976-02-28—Публикация
1974-10-07—Подача