Электронномикроскопическое устройство для измерения полей рассеяния Советский патент 1976 года по МПК H01J37/26 

помощью отклон1пощих катушек 2. Пучок фокусируется объективной линзой на исследуемый образец, так что в измеряемом поле рассеяния проходит тонкий электронный пуяок с малым (менее 10 рад) углом расхождения. При отсутствии магнитного поля рассеяния (над поверхностью магнитной головки 4) наповерхности датчика 5 прочерчивается прямая линия (отмечеш аунктиром на поверхности люминофора). При появлении магнитного поля (подача тока в обмотку возбуждения головки) ггу- , чок отклоняется в этом поле, причем величина отклонения i непосредственно после прохождения пучком рабочего зазора Ч длина зазора вдоль оси Z равна Н ) или отклонение поверхности датчика зависит от величины локального магнитного поля рассеяния в области прохождения пучка. Поэтому при появлении магнитного поля рассеяния электронный пучок вычерчивает колоколообразную (или иной формы кривую на поверхности датчика 5. Форма этой кривой при ориентации магнитной головки, показанной на чертеже, зависит от распределения талгенциальной компоненты поля рассеяния головки Вд - это и есть кривая смещени й, которая искажена изза влияния и нормальной компоненты поля Вд.

Поскольку прозрачность оптического клина 9 линейно меняется по координате X то световой поток, генерированный элетронным пучком при попадании на люминофор 8 и прошедший сквозь оптический клин прямо пропорционален отклонению S электронного пучка на поверхности датчика. Таким образом осуществляется преобразование кривой смешений в кривую распределения тангенциальной компоненты магнитного поля рассеяния, ибо величина 5 . прямо пропорциональна локальному значению тангенциальной компоненты поля гзас- сеяния Вц для заданной координаты л (пр малых отклонениях Ъ по сравнению с характерными размерами поля рассеяния по координате X ).

На экране видеоконтрольного устройства 6 автоматически вычерчивается кри-

вея распределения тангенциальной компо ненты магнитного поля рассеяния исследуемой магнитной головки 4. Развернув исследуемую головку на 90 по оси 2 , можно таким же образом снять распределение нормальной компоненты поля рассеЕШИЯ.

Для получения абсолютных значений магнитного поля рассеяния вдвигают расположенный непосредственно под образцом отсекающий нож-диафрагму 11 (с помощью

микрометрической головки) и измеряют

MQKC

величину отклонениям, , затем находим и максимальное значение тангенциальной компоненты индукции магнитного поля рассеяния:

В7 -S YITr (Н/2-НГ;-,рде ст. ускоряющее напряжение РЭМ; - отнощение заряда электрона к его Массе (размеры Н и f указаны на чертеже).

Таким образом производится калибровка кривой, полученной на экране ВКУ.

Формула изобретения

Электронномикроскопическое устройство для измерения полей рассеяния, содержащее электронную пущку, линзы, формирующие электронный пучок, систему развертки пучка, видеоконтрольное устройство с синхронной разверткой, блок считывания сигнала, несущего информацию об измеряемых полях рассеяния, со светопроводом и фотоумножителем, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерений и автоматизации получения кривых распределения нормальной и тангенциальной компонент исследуемого поля рассеяния,блок считывания сигнала снабжен бесструктурным датчиком информации об измеряемых полях, выполненным в виде последовательно расположенных прозрачной подложки с нанесенным на ее поверхность слоем люминофора и оптического клина с линейно изменяющейся по одной из коордгшат прозрачностью, при этом датчик обращен слоем люминофора к исследуемому Образцу, а оптический клин соединен с фотоумножителем через светопровод.

n

/V/