Способ измерения вакуума Советский патент 1976 года по МПК H01J9/42 G01L21/30 

где: иR -падение напряжения на резисторе R, пропорциональное току /,, RW - падение напряжения на резисторе ю от протекающего тока /е. Показания измерителя 5 определяются формулой:K,U K,,(UO,-UD:)(3) где: /Сгр- коэффициент градуировки измерителя 5, бв,, бв,-напряжения на диодах DI и Dg соответственно. Напряжение на диодах) и/)2 определяется формулой: UD -ln(l + 1 где: / - ток, протекающий через диод /3i или Is - обратный ток насыщения, Ф - коэффициент пропорциональности. Из выражений (2, 3, 4) видно, что показания измерителя 5 прямо пропорциональны отношению - , и его шкала линейная. Тогда, исходя из выражения (1), шкалу измерителя 5 можно непосредственно градуировать в едииицах давления (мм рт. ст.) Терморезистор Rs предназначен для компенсации влияния температуры на вольтамперные характеристики диодов Di и DZ. Резистор Ri предназначен для предварительной установки нуля балансного усилителя 2. Для компенсации утечки и дрейфа пуля измерительного тракта в схеме имеется запоминающий конденсатор 3 с незначительным током утечки. Процесс измерения происходит следующим образом: в исходном состоянии реле 4 обесточено, и .на модулятор ЭЛТ через контакт 4Р подается запирающее напряжение. В цепи резистора ю электронный ток катода трубки отсутствует, в цепи резистора j протекает только ток утечки анода трубки. Конденсатор 3 заряжается до напряжения, которое определяется величиной тока утечки анода трубки и дрейфом нуля измерительной схемы. Кнопкой 6 включается реле 4, контакты 1Я, 2Р и ЗР переключаются, и ЭЛТ открывается. Через резистор R протекает ионный ток анода трубки, а через резистор Rw электронный ток катода трубки. Конденсатор 3 через резисторы 2 и 3 разряжается на вход усилителя 1, в результате чего .компенсируется ток утечки анода трубки и корректируется нуль измерительной схемы. Показания измерителя - /: 5 будут прямо пропорциональны отношению-. Разряд конденсатора 3 происходит через очень большое сопротивление, поэтому в течение времени измерения ток разряда можно считать постоянным. Формула изобретения Способ измерения вакуума в электровакуумных приборах, например электронно-лучевых трубках, основанный на измерении ионного тока, возникающего в результате ионизации молекул газа стабилизированным электронным током, при котором процесс измерения автоматически разбивают на два этапа, причем на первом этапе измеряют электронный ток анода и фиксируют ток утечки с помощью запоминающего устройства, а на втором этапе измеряют ионный ток коллектора за вычетом но;правки, автоматически вводимой запоминающим устройством, отличающийся тем, что, с целью расширения функциональных возможностей и повышения надежности измерения, на втором этапе измерения одновременно усиливают иестабилизированпый электронный ток и пропорциональный ему ионный ток за вычетом ноправки, вводимой запоминающим устройством, автоматически логарифмируют эти сигналы, измеряют разность логарифмов усиленных сигналов и по полученной разности судят о величине вакуума. 5-. f/1 , 6j(Dd2 Куправмющему злентггроду ЗЛТ К НУ7770ffу Э-ЛТ .i/s epeHve Ч