Магниторазрядный манометр Советский патент 1976 года по МПК G01L21/34 

(54) МАГНИТОРАЗРЯДНЫЙ МАНОМЕТР

Изобретение относи гея к области вакуумной метрики, в частности к магнитным элекгроразрядным манометрам 1 .

Известен магкиторазрядный манометр, электродная система которого содержит цилиндрический катод, закрытый с торцов крышками, и стержневой анод, который снабжен двумя или более иийбами, размещенными на аноде в цилиндрической полости катода с зазором относительно один другого 2. Такой манометр обеспечивает очистку анода от диэлектрической пленки ионной бомбардировкой при переполюсовке напряжения питания, что увеличивает срок непрерьшной работы преобразователя без профилактического обслуживания. Однако за счет сдвига разряда при смене знака питаНИН в область более низкого вакуума очищекие анода возможно только в сравнительно узкой полосе давления. В ряде случаев в силу технологических причин установить необходимое давление невоз-. можно, и,следовательно,не обеспечивается режим очищения анода датчика.

Выдержка преобразователя в течение какого-то времени при измененном знаке напряжения питашш не всегда приводит к полной очистке анода, так как образование пленки на аноде происходит стабильно

во време1ш и зависит в основном только от количества масла, попадающего непосредственно в объем ионизации преобразователя. К тому же при смене знака питания образуется пленка на другом электроде, являющемся в это время анодом. Возникновение разряда в области более низкого вакуума при смене знака питания не позволяет в это время производить измерение давления, т.е. процесс очищения связан с временным отключением манометра от измерительной цепи.

Цель изобретения - обеспечение непрерьтного очищения электродов преобразователя от диэлектрической пленки ионной бомбардировкой при переменном напряжении питания и проведение измерений при любом знаке гапряжения питания. Это достигается тем, что в манометре цилиндрический электрод снабжен кольцевым выступом, расположенным между дисками стержневого электрода. Образование при этом схожих конфигураций разрядного промежутка как со стороны внутреннего, так и Biieimic.o электродов обеспечивает возникновение разряда при од1 наковом давлении независимо от полярности прокладьшаег юго напряжения нитачшя. Ma фиг. 1 показана элсктрсящая система мано метра; на фиг. 2 - график зависимости )1азря;адого тока 3 Qотрицательной полярности по отношению к корпусу-земле и график разрядного тока положительной полярности 3® по отношению к корпусу-земле (соответственно для отрицательной и положительной полярности напряжения питания) . Электродная система манометра содержит внутренний стержневой электрод 1 и внешний цилиндрический электрод 2. Электрод 1; представляет собой стержень, на котором укреплены на некотором расстоянии один от другого два диска. Внешний электрод 2 - цилиндр, закрытый с торцов крыижами и имсю1лий внутри кольцевой выступ 3. Магнитное поле Н направлено вдоль оси электродов 1 и 2. Диаметр и толщина выступа 3 выбирается из условия обеспечения максимального сближения по конфигурации разрядных промежутков как со стороны внешнего 2, так и внутреннего электродов 1. На любой иэ электродов 1 и 2 преобразователя подают знакопеременное напряжение питания, а измерение разрядного тока производят в цепи другого электрода. Таким образом, за полный период напряжения питания за счет ионной бомбардировки катода происходит поочередное очищение электродов 1 и 2 манометра. Сближение характеристик по зажигаемости обеспечивает проведение при любом знаке напряжения питания измерение давления одновременно с обеспечением режима самоочищения преобразователя.

W///////.

ж

I

«

.

w////m

Фиг / Описываемый манометр с переменным напряжением питатшя с эффективным значением ±2.5 кв, с частотой 50 1ц, шнусоядальной формы, при напряженности магнитного поля не менее 1100 э имеет стабильные характеристики в области давлений - 1,10 мм рт.ст. Время непрерывной работы без профилактического обслуживаршя такого манометра на вакуумных системах, не имеюпцгх запщты от проникновения паров масла в откачиваемый объем в указанной области давлений, составило не менее 4000 час. Формула изобретения Магниторазрядный манометр, содержащий цилиндрический электрод с отверстием в торцовой крышке и размещенный внутри него стержневой элект|}од с двумя дисками, отличающийся тем, что, с целью обеспечения непрерьшного очищения электродов от диэлектрической пленки ионной бомбардировкой при переменном напряжении питания и возможности проведения измерений при любом знаке напряжения питания, в нем цилиндрический элек-род снабжен внутренним кольцевым выступом, расположен1П)1М между дисками стержневого электрода. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Лекк Жд. Измерение давления в вакуумных системах , М., 1966, стр.122. 2.Авторское свидетельство СССР № 417702, кл..С01 L 21/34, 1974.

З.а 10-3

/7-4

/(;to-i

вх

г-

J0

iO-510

io-e

ЮЗio-г

Фиг. 2

Рим рт.ст.