Пневматический бесконтактный конечный выключатель Советский патент 1976 года по МПК G01P13/00 F15C3/02 

1

Изобретение относится « области пневмоавтоматики и может быть попользовано в качестве датчика положения плоских деталей, вапример фотошаблона и полупроводниковых кристаллов, при производстве интегральных схем.

Известны пневматические бесконтактные конечные выключатели, состоящие из icoocHO раоположениых и натравленных «а-встречу один к другому питающего и приемного сопел 1.

Недостатками их являются низкая чувствительность, а также возможность засорения.

Наиболее близким к данному техническому решению является пневматический бесконтактный конечный выключатель, содержащий канал литания с установленным в ием зжектором, выходное СОПло которого является питающим соплом конечного выключателя, при емное сопло, расположенное соосно с питаюш,им сонлом, выходной канал, соединенный с межсооловой камерой эжектора 2.

Одн.ако эти пневматические бесконтактные конечные выключатели имеют также .малую чувствительность, то есть большую разность координат Между точками «нулевого и «единичного сигнала при входе и выходе детали в паз и не обеспечивают возможности регулирования величины выходного сигнала в процессе работы вообще.

С целью повышения чувствительности устройства в нем .между приемным сонлом и

межсопловой камерой эжектора установлен переменный дроссель.

На чертеже изображен предлагаемый пневматический бесконтактный конечный выключатель.

Выключатель состоит из корпуса 1 с каналом 2 подвода питания, эжектором 3, образованным входным соплом 4 и выходным соплом 5, являющимся одновременно нитающим сонлом конечного выключателя, нриемного

сонла 6, которое через переменный дроссель 7, уплотненный уплотнением 8, соединено коммутационными каналами 9, 10, И с межсопловой камерой эжектора 3 и выходным каналом 12, коммутационных каналов 9 и 11, загерметизированных пробками 13, и флалска 14.

Ра.ботает пневматический бесконтактный конечный выключатель следующим образом. При нодаче питания в канал 2 воздух через

эжектор 3 попадает в приемное сопло 6, проходит переменный дроссель 7, комм тапионные каналы 9-И и поступает в выходной канал 12 и межсопловую камеру эжектора 3.

В заБнсимости от положения перомешюго дросселя 7 в выходном :каНале 12 обеспечивается избыточное давление или вакуум. Это значение соответствует сигналу «О нневматического бесконта:ктного конеч«ого выключателя.

В момент, когда флажок 14 перекрывает струю, поступающую в лриемиый «анал 6, величина вакуума в выходном канале 12 увеличивается, что соответствует сигналу «1.

Для работы переменный дроссель 7 выставляют образом, что сигнал «О соответствует избыточному давлению в выходном канале 12, а сигнал «1 - в.акууму.

ТеХНико-экономичеокий эффект от данного предложения заключается в получении большей чувствительности (до 0,05 мм), большего диапазона изменения величины выходного сигнала, а та-кже в получении возможности регулировки величины выходного сигнала устройства в процессе работы, причем плавно и без его разборки.

Формула изобретен и я

Пневматический бесконтактный конечный выключатель, содержащий канал питания с установленным в нем эжектором, выходное сопло Которого является питающим соплом конечного выключателя, приемное сопло, расположенное соосно с питающим соплОМ, и выходной канал, соединенный с межсопловой камерой эжектора, отличающийся тем, что, с пелью Повыщення чувствительности устройства, в нем между приемным соплом и межсопловой Камерой эжектора установлен переменный дроссель.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе изобретения:

1.Сб. «Пневмоавтоматика, Наука, 1974 г., стр. 272. Статья Э. И. Чаплыгина и др. «Некоторые вопросы надежности струйных систем

управления.

2.Авторское свидетельство СССР N° 381072, М. Кл.2 G 06D 1/02, заявленное 28.12.72г.