Устройство для измерения отношения скоростей поверхностной рекомбинации Советский патент 1976 года по МПК H01L21/66 G01R31/26 

вичной обмоткой трансформатора 2, средняя точка вторичной обмотки которого соединена с корпусом. Один конец вторичной обмотки через иснытуемый образец б, размещенный в постоянном магнитном поле электромагнита 11, соединен с крайней точкой переменного резистора 5, подвижный контакт которого соединен через резистор 4 с выходом источника постоянного тока 7 и через конденсатор 8 с измерительным прибором 9. Источник постоянного тока 10 подключен к намагничивающей обмотке электромагнита 11. Измеряемый образец 6 ориентирован относительно направления вектора напряженности магнитного поля так, чтобы в постоянном электрическом и магнитном полях носители тока отклонялись к стороне с малой скоростью поверхностной рекомбинации, т. е. чтобы наблюдалось уменьшение сопротивления образца. В случае, когда носители тока отклоняются к стороне с малой скоростью рекомбинации, наблюдается увеличение проводимости, которое, однако, при сильных электрических и магнитных полях исчезает. Величина магнитного поля //кр, при которой наблюдается исчезновение эффекта увеличения проводимости, зависит от отношения скоростей поверхностной рекомбинации, толщины образца и величины электрического поля. Отношение скоростей поверхностной рекомбинации определяется по формуле :r --2dK(U, + U,)H,,,, где d - толщипа образца; К - коэффициент, зависящий от параметров полупроводникового материала (концентрации, подвижности носителей) ; Uo - постоянная составляющая падения напряжения; Ui - переменная составляющая падения напряжения. Постоянный и переменный TOICH, протекая через образец, создают падение напряжения на выходе моста со, переменная составляющая f/i которого компенсируется при помощи неременного резистора 4, а постоянная составляющая t/o после разделительного конденсатора не попадает на вход измерительного прибора 9. Включая цепь источника постоянного магнитного поля, на выходе получаем переменное напряжение с частотой электрического поля и„ Ки,и,,(2) которое увеличивается е увеличением Я, однако с дальнейшим ростом магнитного ноля оно уменьшается и при определенной его величине, равной Hup, становится равным 0. Отношение скоростей поверхностной рекомбинации находится по величине магнитного ноля, при которой переменная составляющая падения напряжения равна нулю, из отношения (1). Описываемое устройство более чувствительное, так как имеет избирательный выход и более точное, так как им измеряются не вольтамперные характеристики, на результаты которых влияют контактные явления, а зависимость выходного сигнала от величины магнитного ноля, которая измеряется при одном значении электрического поля. Формула изобретения Устройство для измерения отношения скоростей поверхностной рекомбинации, содержащее источник постоянного тока, источник постоянного магнитного поля и измерительный прибор, отличающееся тем, что, с целью повышения точности измерения, в него введены источник переменного тока, трансформатор, постоянный и переменный резисторы, разделительный конденсатор, причем источник переменного тока соединен с первичной обмоткой трансформатора, средняя точка вторичной обмотки которого соединена с корпусом, один конец обмотки через испытуемый образец, размещенный в постоянном магнитном поле, соединен с крайней точкой переменного резистора, а другой конец обмотки через резистор соединен с другим концом перемепного резистора, подвижный контакт которого соединен через резистор с выходом источника постоянного тока и через конденсатор с измерительным прибором.