Компенсационный окуляр микропроектора Советский патент 1976 года по МПК G02B25/00 

(54) КОМПЕНСАЦИОННЫЙ ОКУЛЯР МИКРОПРОЕКТОРА

1

Изобретение относится к технической физике, а именно к оптике, в частности к микроскопам и микропроекторам для исследования готовых микросхем выполненных на отдельных кристаллах путем визуального обнаружения дефектов на поверхности этих микросхем. Минимальный размер дефектов достигает единиц микрон.

Известны компенсационные окуляры, состоящие из полевой и глазной линз и размещенной между ними полевой дифрагмы,

Окуляр имеет сложную конструкцию. Позади полевой диафрагмы расположен отрицательный компонент, перед глазной линзой, состоящей из положительной и отрицательной линз, расположен положительный компонент, одна из поверхностей которого выполнена параболической 1,

Известны также окуляры, имеющие аналогичную конструкцию и неисправную кривизну изображения и хроматизм увеличения, меняющийся по полю 2 и З.

Из известных окуляров указанного типа наиболее близок к предлагаемому изобретению компенсационный окуляр, состоящий из двух компонентов, каждый из которых склеен из положительной и отрицательной линз и размещенной между ними полевой диафрагмы 4, Окуляр имеет неисправленные кривизну изображения и дисперсию, что недопустимо при использоваНИИ в микропроекторах высокой точности.

Целью изобретения является устранение дисперсии и улучшение качества изображения по полю.

Достигается это тем, что в известном

окуляре, содержащем склеенные из положительной и отрицательной полевую и глазную линзы, между которыми размещена полевая диафрагма, позади полевой диафрагмы установлен апланатический менисковый компонент, склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, выполненных из материалов с разностью показателей прелом.ления порядка О О,О5 и разностью коэффициентов дисперсии порядка 15-25.

На чертеже дана схема оптики окуляра.

Окуляр состоит из шести линз 1-6, образующих четыре компонента.

Линзы 1, 2 объединены в один компонент, представляющий собой полевую линзу окуляра, линзы 5, 6 объединены в компонент, представляющий глазную линзу окуляра, линзы 3, 4 объединены в компонент, представляющий собой менисковый аплана- тический компенсатор.

Описываемый окуляр как в центре поля, так и на краях его при Э 150 мм дает изображение высокого качества. Наличие хроматизма увеличения до 0,7 % позволяет использовать его для совместной работы с ахроматическим объективом микропроектора.

Формула изобретения

Компенсационный окуляр микропроектора, содержащий склеенные из положительной

и отрицательной полевую и глазную линзы, между которыми размещена полевая диафрагма, отличающийся тем, что, с целью устранения дисторсии и улучшения качества изображения по полю, позади по левой диафрагмы установлен апланатический менисковый компонент, склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, выполненных из материалов с разностью показателей преломления порядка 0-0,05 и разностью коэффициентов дисперсии порядка 15--25,

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе:

1,Авторское свидетельство СССР №207790, по кл. G-02 В 25/00, от 1968 г,

2,К, Михель. Основы теории микроскопа , Гос. изд-во технико-теоретической литературы, 1955 г. стр. 178.

3,Скворцов Г. Е, и др. Микроскопы , Мащиностроение 1962 г.,стр, 237.

43 01014110(03 ABC dep VEB Т.A-Bpod tioius VerEag-, LeipiTg S