рующую пластину 9. Одновременно опорный пучок, отразившись от светоделительной пластины 2, поступает на двулучепреломляющую пластину 7. Опорный пучок в пластине 7 расщепляется на два луча, опорный обыкновенный луч опорный необыкновенный луч . Опорные и сигнальные обыкновенные и необыкновенные лучи соединяются на суммирующей пластине 9. Опорный обыкновенный луч и сигнальный обыкновенный луч, нрощедщие пластину 9, выделяются диафрагмой 4 и фокусируются собирательной линзой 10 на светочзшствнтельную поверхность фотоприемника 12, где происходит их фотосмещение.
Опорный необыкновенный луч и сигнальный необыкновенный луч, прощедщие пластину 9, выделяются днафрагмой 5, и фокусируются собирательной линзой 11 на светочувствительную поверхность фотоприемника 13, где происходит их фотосмепгение.
Разность частот, регистрируемая с фотоприемников, воспроизводит силу двулучепреломлеиия в контролируемом объекте.
Формула изобретения
Поляризационный интерферометр, выполненный по кольцевой схеме и содержащий поляризационный осветитель, анализаторы, суммирующую пластину и приемники излучения, отличающийся тем, что, с целью повыщения скорости и точности измерения двойного лучепреломления, анализаторы выполнены в виде двунреломляющих пластин и установлены в оба плеча интерферометра перед суммирующей пластиной, а перед приемниками излучения установлены ограничивающие диафрагмы.
Источники информации,
принятые во внимание при экспертизе:
№ 322747, кл. G 02В 5/30, 1969.
США № 3556662, кл. 356-114,
185511, кл. G 01В 9/02, 1966
название | год | авторы | номер документа |
---|---|---|---|
Устройство для контроля толщины кристаллических пластин в процессе доводки | 1987 |
|
SU1479823A2 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЭТАЛОНИРОВАНИЯ ГИРОТЕОДОЛИТОВ | 1984 |
|
RU1284329C |
Волоконно-оптический датчик магнитного поля и электрического тока | 2020 |
|
RU2748305C1 |
Эллипсометр | 1988 |
|
SU1695145A1 |
ЛАЗЕРНЫЙ СКАНИРУЮЩИЙ МИКРОСКОП | 2005 |
|
RU2285279C1 |
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ХРАНЕНИЯ ЭТАЛОННОГО НАПРАВЛЕНИЯ | 1989 |
|
RU1658708C |
Устройство для эталонирования гиротеодолита | 1977 |
|
SU708154A1 |
Способ определения напряжений в плоском образце из оптически чувствительного материала | 1973 |
|
SU659893A1 |
Автоколлимационное устройство | 1990 |
|
SU1727105A1 |
Устройство для автоматической ориентации топологических структур элементов микроэлектроники | 1985 |
|
SU1293490A1 |
Г
8
Авторы
Даты
1977-01-30—Публикация
1974-11-14—Подача