(19)
SU
(11)
545 962
(13)
A1
(51)
МПК
G03F7/20(2000-01-01)
(21) (22)
Заявка
2111484, 1975-03-10
(22)
дата подачи заявки
1975-03-10
(45)
опубликовано
1977-02-05
(72)
авторы
Гройсман Исаак ШулимовичГергиль Александр РувимовичКривошеев Валерий Михайлович
Авторы
Гройсман Исаак Шулимович
Гергиль Александр Рувимович
Кривошеев Валерий Михайлович
Даты
1977-02-05—Публикация
1975-03-10—Подача