Устройство для измерения линейных перемещений поверяемых объектов Советский патент 1977 года по МПК G01B9/02 

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЕРЯЕМЫХ ОБЪЕКТОВ I На фиг. 1 изображена схема устройства а на фиг. 2 - схема отсчета. Устройство содержит источник 1 монохроматического света и источник 2 белого света, зеркало 3 для поочередного включения источников 1 или 2, объектив 4 коллиматора, призму 5, светофильтр 6, полупроз рачное зеркало 7, неподвижное (опорное) зеркало 8, компенсатор 9, измерительное (подвижное) зеркало 10, закрепленное на измерительном стержне 11, ширмы 12, частично закрывающие зеркала 8 и 10. Наблюдательная ветвь интерферометра содержит объектив 13, призму 14 двойного изображения, , экран со шкалой 15, зеркало 16. Схема отсчета (фиг. 2) содержит счетчик 17 полос, фотоприемники 18 и призму 19. Счетчик снабжен приспособлением для программирования. Работает устройство следующим образом, Пучок лучей от источников света 1 или 2, проходя обьектив коллиметра, призму 5 и, когда требуется, светофильтр 6, падает на зеркало 7, разделяется на два пучка, один из которых направляется на неподвижное зеркало 8, а другой , пройдя компенса , тор 9, - на подвижное зеркало 10, закрепленное на измерительном стержне 11. Оба зеркала частично закрыты непрозрачными ширмами 12. После отражения от зеркал 8 и 10 пучки лучей, частично проходя объектив 13 и призму 14 двойного изображ ния, направляются на экран со шкалой 15. Если разность хода невелика, то лучи интерферируют в полости экрана - шкалы и наблюдаются с помощью зеркала 16, причем на экране получаются два изображения системы полос интерференции света, прямое и обратное, перевернутые друг относительно друга на 18О° (фиг. 2). В белом свете оба изображения интерференцион ных полос окажутся цветными и среди них черные (нулевые) ахроматические полосы служат указателями положения измеритель ного стержня интерферометра на оси прибора. Когда черные полосы (прямая и перевернутая на 180) совпадут, стержень будет в нулевом положении. При перемещеНИИ стержня полосы синхронно перемещаются в противоположных направлениях:. Интервал перемещения измерительного стержня определяется в длинах волн (полосах) визуально или счетчиком 17 полос с помощью фотоприемников 18 и призм 19 (фиг. 2), след5пцих за перемещениями полос на экране. Стержень интерферометра перемещается вручную с помощью редуктора 20 или электродвигателем 21 и одновременно перемещается стержень 22 поверяемого прибора. При этом оба стержня находятся на одной прямой, перпендикулярной оси 23, на которой интерферометр вместе с поверяемым прибором могут поворачиваться в стойке 24 в требуемое положение. После присоединения, например, поверяемой головки к интерферометру и установки его в требуемое положение в пространстве показания интерферометра и поверяемой головки устанавливают на нуль начальный. Перемещают измерительный стержень интерферометра, а следовательно, и поверяемой головки на заданное число длин волн (полос) и производят отсчет по шкале головки. Проверяют нуль конечный. Разность между перемещениями в длинах волн и показаниями головки - результат поверки головки. Ф о р м у л а из об р е т е н и я Устройство для измерения линейных перемещений поверяемых объектов, содержавд щее встроенный в корпус контактный интерферометр, узел крепления корпуса с основанием устройства и узел крепления поверяемого объекта ,отличающе е- с я тем, что, с целью расширения эксплуатационных возможностей устройства, узел крепления поверяемого объекта жестко связан с корпусом интерферометра, а узел крепления корпуса с основанием установлен с возможностью поворота корпуса интерферометра в плоскости, перпендикулярной основанию.

П

J9

15