Установка контроля размеров элементов фотошаблонов Советский патент 1977 года по МПК G01B11/02 

нал, гибким элементом, соединяющим осветительный канал с проекционным, а визуаль ный тубус выполнен в виде перископа и размешен под станиной так, что его объектив является общим с объективом проекдион ного канала и находится на одной оси с фотоприемным устройством. На чертеже дана принципиальная схема установки контроля размеров элементов фотошаблона. Установка содержит станину 1, координатный стол 2, содержащий каретку 3 и 4, механизмы 5 привода, датчики 6 отсчета линейных перемещений с дифракционными решетками 7, механизм 8 ориентации, на который устанавливается фотошаблон 9 и фотоэлектрическую систему, состоящую из визуального тубуса 10, проекционного и осветительного каналов 11 и 12 и фотоприемного устройства 13. Визуальный тубус 10 выполнен а виде перископа, размещен под станиной 1 и содержит окулярную головку 14, установленн на конце держателя 15, призму 16, оборачивающую систему 17, объектив 18, ахроматическую линзу 19, зеркало 20, объектив 21, ахроматическую линзу 22, светоде лительные элементы 23 и 24, Проекционный канал 11 состоит из анализирующей щели 25 и элементов, общих с визуальным тубусом 10 (объектива 21, ахроматической линзы 22, светоделительно го элемента 24), наход51щихся на одной ос с фото приемным устройством 13. Гибкий элемент 26 соединяет осветительный канал 12 с проекционным каналом 11. Осветительный канал 12 содержит зеркало 27, конденсор 28, источник 29 света и установлен на кронште1 не 30, расположенном под станиной 1. Фотоприемное уст ройство 13 состоит из фотоприе даика 31 и объект$1ва 32 и установлено на котще держателя 15, расположенного над координатным столом 2. , Световой поток от источника 29 света проходит через конденсор 28, отражается от зеркала 27 и попадает на аналиэнрую- щуго щель 25, которая через светоделитель ный элемент 24 ароенируется с помощью ахроматической тшаы 22 п объектива 21 на плоскость рисунка фотошаблона 9, Изображение анализирующей щели 25 через фо.тошаблон 9 проецируется объективом 32 на фотоприетушшс 31 фотоприемного уст ройства 13. При перемещении координатн1 го стола 2 элементы рисунка фотощаблона 9 перекрывают изображение анализирующей щели 25, что вызывает изменение фототок в фотоприемнике 31 от минимального значения до максимального. Момент среднего значения фототока считается моментом визирования края элемента. В момент среднего значения фототока срабатьшает пороговое устройство (триггер Шмидта) и пере-« носит показания датчика 6 отсчета линейных перемещений на табло индикации или в цифропечатаюшее устройство, фиксирующее результаты измерений (на чертеже не показано). Выполнение фотоэлектрической системы в виде проекционного канала 11, расположенного под станиной 1, и фотоприемногЬ устройства 13, установленного в держате™ ле 15 над координатным, столом 2, на одной оси с объективом 21 проекционного канала 11 повышает точность измерений, так как источником 29 света осветительного канала 12 засвечивается площадь, равная площади изображения анализирующей щели 25 на фотошаблоне 9 (диаметр 1,5-2 мкм), что практически не вызывает нагрева фото шаблона 9. Общий объектив 21 проекционного канала и визуального тубуса 10, выполненный в виде перископа, позволяет раэмещать фотошаблон 9 рисунком вниз к объективу 21, что повышает точность измерений благодаря отсутствию расфокусировки и смещения оси визирования иэ-за клинов1здности фотощаблона 9. Фотоприемное устройство 13 не чувствительно к расфокусировке, т. к, . оно выполняет только фуншдии сбора светового потока, прошедшего через фотошаблон 9 на фотоприемное окно фотоприем 1и- ка 31, которое больше сечения направляемого на него светового потока. Визуальный тубус Ю предназначен для визуального контроля ориентации фотошаблона 9 по углу ip и для вывода под объектив 21 проекционного канала 11 требуемого участка фотошаблона 9. Визуальный тубус 10 выполнен в виде перископа с объективами 18 и 21, последний является и объективом проекционного канала 11, что поэвояяет контролировать ориентааию фотошаблона 9 по двум одинаковым элементам в разных модулях (рисунках) фотощаблона и значительно уменьшить затраты времени йа ориентацию. Размещение фотоприемного устройства 13 над координатным столом 2: в держателе 15, который одновременно является и держателем окулярной головки 14, существенно упрощает конструкцию установки. Осветительный канал 12 размещен далеко от станины 1 на кронштейне 30 и практически не вызывает нагрева станины 1, что повышает точность измерения. С целью уменьшения влияния вибраций на точность измерений кронштейн 30 с осветительным каналом 12 закреплен на нижней поверхности станины 1, а осветительный канал 12 соединен с проекционным каналом 11 гибким элементом 26, один конец которого закреплен на осветительном канале 12, а другой - на выступе с анализирующей щелы 25 проекционного канала 11, причем гибкий полый элемент 26 не передает вибра ции осветительного канала 12 с крогглтей ном 30 выступу с анализирующей щелью 25 проекционного канала 11. Формула изобретения Установкаконтроля размеров элементов фотошаблонов, содержащая станину, координатный стол с датчиками отсчета ли нейных перемещений, механизмы привода, механизм ориентации фотошаблона и фотоэлектрическую систему, состоящую из ви-, зуального тубуса, проекционного и освети гельного каналов и фотоприемного устройст ва, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности и контроля произ водительности труда,она снабжена держате- лем.расположенным над координатным столом, на одном конце которого установлено фотоприемное устройство, а на другом - окуляр ная головка визуального тубуса, кронштейном, расположенным под станиной и несущим осветительный канал, гибким элементом, соединяющим осветительный к&нал с проек- ционным, а визуальный тубус выполнен в виде перископа и размещен под станиной так, что его объектив является общим с объективом проекционного канала и находится на одной оси с фотоприемнын устройством. Источники информации, принятые во вн№мание при экспертизе: 1,, Компаратор 200 цифровой фирмы E.Ueitz (ФРГ).Электронная промыщленность 1971, № 4, с. 105. 2. Установка для контроля фотощаблонов, МММ(ОМЗ-П). Проспект фирмы OEmpus Японии.