Энергетический анализатор Советский патент 1977 года по МПК H01J39/34 

фиг. 4 - график фхнкцин дропускашш всего анализатора.

На графиках по оси абсцисс отложена энергия заряженных частиц.

Анализатор (фиг. 1) представляет собой внутренний цилиндр 1 с кольцевыми лрорезями 2-5, коаксиально с которым на изолирующих прокладках 6 крепят внешние цили1 дры 7 основной и 8 дополнительной электродных системы, образующих две ступени анализатора. На выходе первой и второй ступеней установлены диафрагмы 9, 10. На выходе второй .ступени выполнено регистрирующее устройство 11. Электропитание осуществляется от источника 12. Анализируемые электроны поступают в анализатор с Образца 13.

Анализатор работает следующим образом.

Электроны, испускаемые образцом 13, попадают в пространство между внутренним цилиндром 1 и впешним цилиндром 7 первой ступени через входные прорези 2 внутреннего цилиндра 1. Отрицательный потенциал Ui, приложенный к внещнему цилиндру 7, отклоняет электроны к поверхности внутреннего цилиндра 1, электроны через .выходные прорези 4 и центральную диафрагму 9 понадают во вторую ступень анализатора. На внешний цилиндр 8 подан отрицательный потенциал UzВторая ступень анализатора работает аналогично первой. Нройдя через выходную диафрагму 10 электроны попадают в регистрирующее устройство 11.

Нусть - щирина энергетического интервала (ширина функции пропускания) первой ступени (фиг. 2); Д г-ширина функции пропускания второй ступени (фиг. 3); Ui - потенциал, приложенный к внещнему цилиндру первой ступени, который определяет величину центральной энергии EI прощедших через первую ступень электронов; Uz - потенциал, приложенный к внешему дилиидру второй ступени, определяющей значение энергии EZ прошедших через вторую ступень электронов.

Легко видеть (фиг. 2), что первая ступень не пропускает электроны с эпергией большей,

чем flH-, а вторая (фиг. 3) - не пропускает электроны с энергией меньшей, чем

/7 Е, -Си .

Следовательно функция пропускания всего анализатора имеет ширину (фиг. 4) и определяется как

д 77 С- I гу

- 14

в силу зависимости EI н EZ от потенциалов Ui и Uz впешних цилиндров первой и второй ступеней регулировкой этих потенциалов добиваются изменения ДЯрез. Таким образом, достигается регулировка разрешения без существенного усложнения конструкции анализатора, без введения дополнительной регистрирующей аппаратуры. Кроме того, регулировка разрешения не связана с уменьшением выходного сигнала анализатора, а анализатор надежен в эксплуатации и технологичен в изготовлении.

Формула изобретения

Энергетический анализатор, содержащий электродную систему, выполеенпую в виде

коаксиальных внешнего цилиндра и внутреннего цилиндра -с орорезями на боковой поверхности, источник питания и регистрирующее устройство, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности регулирования разрешающей способности анализатора, он снабжен дополнительной электродной системой, аналогичной упомянутой по конструкции, изолированной от нее и установленной соосно ей.

Источники информации,

принятые во внимание при экспертизе

1.Р. W. Palmbery, J. Vac. Sci, Jechol, v. 12, № 1, Jon/Feb, 1975.

2.Натент США Д 3699331, кл. Н Oil 37/26, опублик. 1973.

///7////7////////7/Y/ /////////////

-, +

Фиг.1

A

rf f,-f Фиг. 2