Способ измерения локальной плотности поверхностного заряда Советский патент 1977 года по МПК G01R29/12 

Устройство содержит зонд 1, модулятор 2, заряженную поверхность 3, генератор 4 высокой частоты, блок 5 индикации индуцированного заряда, блок 6 обратной связи.

Устройство работает следующим образом. С помощью соответствующего координатного устройства зонд I устанавливается в любую точку области над исследуемой заряженной поверхностью 3. При возбуладении высокочастотного поля в области расположения зонда 1 с помощью генератора 4 напрял{е1 ие высокой частоты через блок 6 поступает на модулятор 2, с помощью которого осуществляются акустические колебания зонда по нормали к исследуемой заряженной поверхности 3. В результате колебаний зонда 1 происходит модуляция амплитуды высокочастотного напряжения, причем коэффициент модуляции пропорционален среднему расстоянию от заряженной поверхности 3 до зонда 1. За счет действия обратной связи и модулятора 2 коэффициент модуляции в процессе измерения остается постоянным, а следовательно, сохраняется неизменным и среднее расстояние от заряженной поверхности 3 до зонда 1 независимо от ее рельефа. На выходе зонда I кроме высокочастотного напряжения, нромодулированного по амллитуде, действует также напряжение модулирующей частоты, пропорциональное локальной плотности поверхностного заряда в области расположения зонда 1. Для определения знака заряда на поверхности и

правильной работы цепи обратной связи на блоки 5 и 6 подаются опорные напряжения от модулятора 2 и генератора 4.

Использование предлагаемого способа позволяет увеличить разрешающую способность, повысить точность измерений и обеснечить надежные и автоматические измерения микрораспределения плотности поверхностного заряда с учетом топографии исследуемой поверхности.

Формула изобретения

Снособ измерения локальной плотности поверхностного заряда на основе явления электростатической индукции с преобразованием индуцированного заряда в переменное напряжение, отличающийся тем, что, с целью увеличения точности при измерении распределения заряда на поверхностях с произвольной топографией, перед преобразованием индуцированного заряда в области измерения возбуждают электромагнитное поле высокой частоты, а плотность поверхностного заряда определяют по амплитуде индуцированного напряжения на частоте преобразования. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР ЛЬ203181, кл. Q 01R 29/12, 1970.

2.Авторское свидетельство СССР № 374569, кл. G 01R 29/12, 1966.