Интерферометр для контроля прогибов кваз плоских поверхностей деталей Советский патент 1977 года по МПК G01B9/02 G01B11/24 

1

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано для контроля прогибов (отклонений от плоскостности) квазиплоских (с глубиной прогиба до 200 мкм) поверхностей деталей.

Известен интерферометр для контроля прогибов оптических поверхностей, содержащий осветитель, состоящий из последовательно расположенных источников света, коллиматора и зеркала для поворота световых лучей, регистрирующий узел и оптическую систему для передачи световых лучей, размещенную между зеркалом и регистрирующим узлом и включающую формирователь наклонного освещения детали, светоделитель и совместитель интерферирующих световых лучей, держатель детали.

В известном интерферометре функции формирователя наклонного освещения детали, светоделителя и совместителя интерферирующих лучей выполняют плоские зеркала и полупрозрачные пластины.

Иедостатком известного интерферометра является сложиость конструкции.

Предлагаемый интерферометр отличается от известного тем, что, с целью упрощения конструкции, оптическая система для передачи световых лучей выполнена в виде прямоугольной равнобедренной оптической призмы.

установленной верщиной вниз и имеющей горизонтально расиоложенную грань, являющуюся держателем детали.

На чертеже дана оптическая принципиальная схема предлагаемого интерферометра.

Интерферометр включают осветитель, состоящий из последовательно расположенных лазера 1, коллиматора 2 и зеркала 3 для поворота световых лучей, оптическую систему

для передачи световых .лучей в виде прямоугольной равнобедренной оптической призмы 4 и регистрирующий узел (не показан). Прямоугольная равнобедренная оптическая призма выполняет функции формирователя наклонного освещения детали, светоделителя, совместителя интерферирующих световых лучей и держателя детали.

Предлагаемый интерферометр работает следующим образом.

Деталь 5 располагается на гипотенузной грани призмы 4 контролируемой поверхностью вниз. Катетная грань призмы освещается плоской световой волной, причем угол падения в на эту грань выбирается с помощью

зеркала 3 таким образом, что на гипотенузную грань призмы световая волна надает под углом, близким к углу полного внутреннего отражения. На гипотенузной грани иризмы формируются два световых луча: один отражается от границы раздела стекло-воздух в