контактирующую с электродом, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности и пространственной разрешающей способности, металлическая пленка выполнена с переменной толщиной, уменьшающейся к месту контакта с электродом.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Поляков Ю. А., Митькина Е. А. Тонкопленочный термометр сопротивления. «Приборы и техника эксперимента, 1961, № 4, с. 140-142.
2.Маякин В. П., Донченко Э. Г. Электронные системы для автоматизированного измерения характеристик потоков жидкостей и газов. ;Энергия, М., 1970, с. 12.
3.Авторское свидетельство СССР №509832, кл. G 01Р 5/12, 1976.
| название | год | авторы | номер документа |
|---|
