Делитель напряжения на мдп-транзисторе Советский патент 1978 года по МПК H01L29/788 

(54) ДЕЛИТЕЛЬ НАПРЯЖЕНИЯ НА МДП-ТРАНЗИСТОРЕ

Изобретение относится к области полупроводниковой техники и может быть использовано в качестве делителя напряжения, переменного резистора и функционального преобразователя в информационно-измерительных системах Известны устройства на базе МДП-структур с подвижным электродом затвора, которые состоят из истока, тока и подвижного электрода затвора Ъпособного перемещаться в вертикальной плоскости 1. Недостатками их являются малые линейные перемещения и малая чувстви тельность к ним. Известен Делитель напряжения на МОП-транзйстОре zj, который содержит исток, сток, и подвижный прямоугольный электрод затвора, имеющий возмож ность п;ёремеадаться вдоль истока и ст ка по слою жидкого диэлектрика. Его недостатком является малая чувствительность тока стока к переме шению подвижной части. Целью данного изобретения является увеличение чувствительности тока стока к перемещению подвижного электрода затвора. Цель достигается тем, что в предл гаемом датчике напряжения электрод подвижного затвора выполнен в форме треугольника, причем одна из его сторон параллельна области истока. Применение такого подвижного электрода затвора в форме треугольника позволяет ввести искусственным образом отсечку или так называемую обедненную область канала, которая для обеспечения токопроводности должна быть расположена вдоль стока. Одной из характеристик данного класса устройств является статическая характеристика, т.е. зависимость выходного параметратока стока J от входного параметраперемещения подв1)жного электрода затвора ). Известно, что -з; t-, где Т f - ток стока в канале между истоком и стоком МДП-транзистора; 3 ( - ток насыщения в канале; L - длина канала; bj - эффективная длина канала МДП-транзистора. Из этого выражения видно,что одним из способов повышения чувствительности тока стока является уменьшение эффек