Интерференционный способ измерения величины линейных и угловых перемещений Советский патент 1978 года по МПК G01B9/02 

Оно содержит источник 1 монохроматического излучения и интерферометр, состояший из полупрозрачных зеркал 2, 3, зеркала 4, укрепленного на подвижном объекте, фотоприемника 5, пьезоэлектрических модул торов 6, 7 и опорного низко-частотного генератора 8 модулирующих сигналов. Процесс измерения величины линейных и угловых пэремешений заключается в сладуюшем. Монохроматическое излучение источника 1направляют в интерферометр, модулируют его и разделяют полупрозрачны.м зеркалом 2на опорное и измерительное излучение. Измерительное излучение направляют к зеркалу 4, закрепленному на объекте измерени Отразившееся от зеркала 4 и затем от зер кала 2 измерительное излучение попадает на фотоприемник 5, с помощью которого, получая интерференционную картину, рудят об измеряемой величине. Опорное излучение полупрозрачным зеркалом 2 направляют на ПJлyпpoзpaчнoe зеркало 3, где происходит разделепие опорного излучения на два луча. Каждый из лучей модулируют с помощью модуляторов 6, 7. Отразившие от отражающих зеркал пьезоэлектрических модуляторов 6, 7 излучения проходят последовательно зеркала 3, 2 и также попадают на фотоприемннк 5. Опор ньй генератор 8 управляет модуляторами 6, 7 сигналами низкой частоты, сдвинуты-, ми по фазе один относительно другого на 90°, что приводитк соответствующей фазовой модуляции |аучей опорного излучейия. На фотоприемнике интерферируют три луча: измерительный с фазой, зависящей от положения объекта, опорный луч, промодулированный по фазе модулятором 6, и опор- jO

иый луч, промодулированный по фаза модулятором 7. В результате указанной интерференции в спектре выходного сягнеша фотоприемника имеется составляющая с частотой опорного модулирукмиего генератора и с фаЗОЙ, равной фазе измерительного излучения. Окончательный результат измерения может быть получен в низкочастотном цифровом измерителе фазового сдвига (на чертеже не показан), где в качестве опорного сигнала используется сигнал генератора 8. Сравнительные исследования подтверждают эффективность описываемого способа. Oif позволяет осуществлять измерения в динамике, достаточно просто получать результаты в цифровой форме, а главное обеспечивает высокую точность измерения. формула изобретения Интерференционный способ измерения величины линейных и угловых перемещений, заключающийся в том, что монохроматическое излучение направляют в-интерферометр модулируют его, разделяют на опорное и из мерительное, которое направляют на объект, и регистрируют интерференционную картину на фотоприемнике, до сигналу с koTopor судят об измеряемой величине, отличающийся тем, что, с целью повы шения точности измерений, опорное излучение разделяют на два, модулируют каждое из них по фазе сигналами низкой частоты, сдвинутыми по фазе на 90 один относительно модулирующего второго. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1.Авторское свидетельство СССР № 194330, кл. С 01 В 9/02, 1965. 2.Авторское свидетельство СССР Jvfe 4O814S, кл. С 01 В 9/О2, 1972.