Способ измерения температуры переходов Советский патент 1978 года по МПК H01L21/66 

пропорциональна нзменению днфференциального сонротивления управляющего перехода; величнна у зависит от изменения активной и реактивной составляющих.

Измерения, проведенные таким способом, показали чувствительность не менее 100 мкВ/°С.

Использование предлагаемого способа по сравнению с известными обеспечивает следующие преимущества. Высокая чувствительность позволяет измерять малые температуры разогрева структуры с больщой точностью, что обеснечивает измерения малых величин тепловых сопротивлений тиристоров. Это далабораторных исет новые возможмости следованиях.

Формула изобретения

Способ измерения температуры р-п переходов путем пропускаиия измерительного тока и измерепия термочувствительного иараметра, отличающийся тем, что с целью увеличения точности измерений, прямой измерительный ток модулируют перемепным и измеряют в качестве термочувствительного параметра дифференциальное сопротивление р-п перехода.