Насадок термоанемометра Советский патент 1978 года по МПК G01P5/12 

1

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения пзльсационных скоростей газовых потоков.

Известны насадки термоанемометров, предназначенные для измерения скоростей потока, содержащие нагревательный элемент в виде присоединенной к источнику питания термопары, спай которой совмещен со спаем измерительной термопары 1.

Эти устройства имеют низкие точность и стабильность измерений скорости и больщую инерционность.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является насадок термоанемометра, содержащий нагревательный и чувствительный элементы, изготовленные из двух монокристаллов полупроводника, например нитевидных кристаллов кремния, расположенных параллельно друг другу 2.

Такой насадок имеет недостаток, связанный с относительно больщой инерционностью измерений, малой точностью и нестабильностью показаний пульсационных скоростей потока.

Цель изобретения - повышение точности и стабильности измерений скорости потока.

Поставленная цель достигается тем, что насадок выполнен на одном нитевидном кристалле в виде двух параллельно расположенных вдоль его длинной оси зон противоположного типа проводимости. Поверхности этих зон контактируют между собой с образованием р-я-перехода, используемого в качестве

изоляционного покрытия.

На фиг. 1 показана схема насадка термоанемометра, выполненного в виде двух смежных параллелепипедов; на фиг. 2 - схема насадка, изготовленного путем расположения

стержня нагревателя в цилиндре рабочего элемента.

Насадок термоааемометра 1 выполнен из монокристалла полупроводника (нитевидного кристалла) размером 1Х0.05хО,05 мм в виде двух областей: нагревателя 2 и чувствительного элемента 3 различного типа проводимости. Электрический контакт с каждой областью осуществляется при помощи невыпрямляющих токовых выводов 4, 5, 6 и 7.

Насадок термоанемометра работает следующим образом.

Насадок располагают в потоке таким образом, чтобы чувствительный элемент 3 был вторым по направлению потока. По построенным ранее градуировочным кривым можно судить о скорости потока. Малая величина постоянной времени устройства, равная 20 50 мс, позволяет с повышенной точностью измерять скорости пульсирующего потока.

Формула изобретения

Насадок термоаиемометра, содержащий нагревательный и чзвствительный элементы, изготовленные из двух монокристаллов полупроводника, например нитевидных кристаллов кремния, расположенных параллельно друг другу, отличающийся тем, что, с целью повышения точности и стабильности измерений скорости потока, уменьшения инерционности измерения, насадок выполнен на одном нитевидном кристалле в виде двух параллельно расположенных вдоль его длинной оси зон противоположного типа проводимости, поверхности которых контактируют меладу собой с образованием р-п-перехода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР №312203 кл. G 01Р 5/12, 1971.

2.Материалы заявки JVb 2120817/10, кл. G 01Р 5/12, от 08.04.75 г., по которой принято положительное решение о выдаче авторского свидетельства.

1 ,. ..

i

- J

J-p 2 5

(pus. 2