Устройство для контроля размеров фотошаблонов Советский патент 1978 года по МПК G01B11/02 

Изобретение относится к котрольно-измерительной технике и может быть использовано, в частности, для контроля размеров фотошаблонов прн производстве интегральных схем.

Известно устройство для контроля размеров фотошаблонов, основанжк на методе оптической пространственной фильтрации, содержащее источник света, коллиматор, держатель фотошаблона , объектив прямого преобразования Фурье, оптический фильтр и фотоприемник 1.

Недостатком этого устройства является то, что оно предназначено для обнаружения локальных дефектов рисунка, но контролировать размеры элементов рисунка не позволяет.

Наиболее близким к данному изобретению по своей технической сущности и решаемой задаче является устройство для конгроля размеров фотошаблонов, содержащее последовательно расположенные на одной оптической оси когерентный источник света, коллиматор, держатель фотошаблона, объективы прямого и обратного фурье преобразования с установленным между ними полосовым фильтром пространственных частот, фотоприемник и регистрирующий прибор 2.

Полосовой фильтр пространственных частот подобран так, чго имеется возможность контроля размеров элементов рисунка фотошаблона. Полоса фильтра выбрана таким обр&зом, что при отклонении размеров элементов рисунка фотошаблона на 10% от эталонного наблюдается увеличение световой энергии, падающей на регистрирующий прибор, более чем в 10 раз.

Недостатком этого устройства является то, что оно эффективно лишь при контроле элементов рисунка фотошаблона размером 100 мкм, что в настоящее время не удовлетворяет требованиям процесса микроминиатюризации, так как возникла необходимость получения микрост1 уктур размером 1 мкм.

При контроле элементов рисунка фотошаблона размером 1 мкм с помощью данного устройства возникают трудности, связанные с тем, что вследствие уменьшения светового потока, падающего на фотоприемйик в 100 раз Чувствительность регистрирующих приборов ограничена, а увеличег.ие световой энергии, падающей на фотоприемник, недостаточно при Отклонении размера измеряемого элемента от