Электроннооптическое устройство с коррекцией аберрации Советский патент 1980 года по МПК H01J29/56 

(54) ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕеКОЕ УСТРОЙСТВО С КОРРЕКЦИЕЙ АБЕРРАЦИЙ Так, для коррекции аберраций л-го порядка отверстие электрода корректора имеет три плоскости с мметрии. Б этом случае поле кор ректора по степеням поперечных коорди нат в качестве двух первых членов содержит осесимметричную и секступольную компоненты. Секступольная составляющая корректирует аберрации второго порядка, Для коррекции аберраций, например, 4-го порядка отверстие имеет пять плоскостей симметрии, для коррекции аберраций 5-го порядка - шесть плоскостей. При этом поле корректора содержит осесиммётричную составляющую и соответственно декапольную и додекаиояьную составляющие, необходимости одновременной коррекции аберраций различных поряжов устанавливают набор электродов с соответствующим числом плоскостей симметрии. В каждом случае величину корректируемой аберрации регулируют, изменяя потенциал на электроде корректора, а переключение полярности его питания изменяет знак аберрации на противоположный. Указанные свойства корректора установлены экспериментальным путем в лаборатории ФТИ. На чертеже показана схема предлагае 4oгo устройсг ва.

Устройство состоит из пОСледователь(но расположенных, на общей оптической оси Z. электронно-оптической системы 1, обладающей аберрациями, например, 2-го, 4-го, 5-го порядков, и корректора 2 аберраций соответственно 5-го порядков;,зл9ктроды которого повернуты вокруг оси Z TaKj чтобы для каждого электрода плоскость симметрии, проходящая край отверстия, близлежащая к оси 7. , совпала с направлением коррекции аберраций например, направлением X причем для электродов с начетным числом плоскостей симметрии упомянутый край находится со стороны X Каждый электрод соединен с независимо регулируемым делителем 3, подключенным к общему источнику 4 питания. Полярность, подключения источника определяется знаком заряженных частиц и выбранным направлением коррекций аберраций. Последовательность расположения электронно-оптической системы 1 и электродов корректора 2 не принципиальна. Форма отверстий электродов может быть самой различной, но обязательно иметь соответствующее число плоскостей симметрии.

1. Электронно-оптическое устройство с коррекцией аберраций, состоящее из системы электронно-оптических элементов и расположенного на общей с ней оптической оси, совпадающей с осью пучка заряженных частиц, корректора аберраций, выполненного в виде, по крайней мере, одного электрода с отверстием, имеющим плоскости симметрии, размещенного перпендикулярно оптической оси так, что центр .его отверстия расположен на этой оси, а одна из плоскостей симметрии отверстия совпадает с направлением коррекции аберрации, и соединенного с источником питания, отличающееся тем, что, с целью улучшения качества изображения путем коррекции аберраций (П-1) Порядка, электрод корректора выполнен с отверстием, имеющим Ц плоскостей симметрии ,где П 3, 4, 5, 6, 7,....

Источники 1шформации, принятые во внимание при экспертизе

1.Авторское свидетельство СССР № 516316, кл, Н О1 J 29/56, 1975.

2.Авторское свидетельство СССР по заявке № 2345114/25,

кл. Н 01 J 29/56, 1977. Устройство работает следующим .образом. На пучок заряженных частиц воздействует электростатическое или магнит ное поле электронно-оптической системы, вносящей аберрации 2-го, 4-го, и 5-го порядков. Затем пучок электронов прохоцит через электростатическое поле корректора 2. При этом поле первого электрода корректора, отверстие которого имеет плоскости симметрии, действует на пучок пропорционально квадрату его расстояния от оси, второй электрод - пропорционально четвертой степени, а третий пропорционально пятой степени. В результате взаимодействия пучка электронов с полями системы 1 и корректора 2 аберрации 2-го, 4-го и 5-го порядков сводятся к нулю Предлагаемое устройство позволяет улучшить качество создаваемого им юображения за счет коррекции аберраций ( П -1)-го порядка, а также за счет уменьшения вклада дополнительных аберраций, связанных с неточностью многоэлектродных линз корректора. Предлагае устройство имеет более простую схе питания к конструкцию, чем известные. Формула изобретения