Вакуумная установка Советский патент 1978 года по МПК F04B37/08 

При захолаживании конденсирующих элементов 5 и 6 гелий, находящийся в полостях 12, поглощается адсорбентом 13 и в них создается разрежение порядка мм рт. ст., в результате чего элементы 5 и 6 становятся хорощо изолированными в тепловом отнощении от стенки 10.

По достижении элементами 5 и 6 температуры 15-20°К установка готова к работе.

Открывают запорный клапан 15 и производят откачку объекта одним криогенным насосом, например 3.

После того как элемент 5 покроется слоем твердого конденсата и у криогенного насоса 3 начнет снижаться производительность, запорный клапан 15 закрывают, а клапан 16 открывают и включают в работу насос 4.

Криогенный насос 3 начинает регенерировать. Для этого включают вакуумный насос 17 и поддерживают в криогенном насосе 3 давление порядка 1 мм рт. ст., при этом прекращают подачу гелия на элемент 5, температура его поверхности начинает повыщаться вследствие теплопритоков. Когда она повысится до 40-45°К, начинает происходить сублимация твердого конденсата, при этом температура элемента 5 остается постоянной до тех пор, пока не сублимируется весь твердый конденсат. Из-за повыщения температуры конденсирующего элемента 5 повышается температура адсорбента 13 в полостях 12. Гелий десорбирует из адсорбента 13 и давление в полостях 12 повышается. Высокая теплопроводность гелия обеспечивает хороший тепловой контакт между

холодным элементом 5 и стенкой 10. В результате охлаждения экрана 8 охлаждаются перегородки 11 и конденсирующий элемент 6, поэтому газ, откачиваемый насосом 4, после охлаждения до 90-100°К на экране 8 дополнительно охлаждается на рещетке 14 до 50-60°К и таким образом подходит к элементу 6 более холодным. Тем самым снижается тепловая нагрузка на конденсирующие элементы и повыщается экономичность насоса.

Формула изобретения

Вакуумная установка, содержащая размещенные в герметичных корпусах поочередно работающие криогенные насосы с конденсирующими элементами и теплозащитными экранами, подключенные к криогенератору, отличающаяся тем, что, с

целью повыщения экономичности, корпусы насосов имеют общую стенку, выполненную из высокотеплопроводного материала, и конденсирующие элементы соединены со стенкой перегородками, образующими герметичные полости, заполненные гелием, внутри которых на поверхности конденсирующих элементов закреплен адсорбент, а между элементами и экранами установлены пластинчатые рещетки, имеющие тепловой

контакт со стенкой.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1. Патент ФРГ № 1300624, кл. 27d 6/02, опублик. 1969.

2. Патент США № 3579997, кл. 62-55.5, опублик. 1969.

Фиг. 2