Способ измерения вакуума Советский патент 1979 года по МПК G01L21/12 

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может найти применение в устройствах для измерения вакуума в широком диапазоне температур. Известны способы измерения вакуума, основанные на измерении изменения теплопроводности исследуемой сре ды 1 . Наиболее близким является способ измерения вакуума Пирани, который использует зависимость температуры нагреваемого током резистивного термочувствительного элемента от интенсивности рассеивания тепла последним в газовую среду. Интенсивность рассеивания тепла определяется давле нием и температурой исследуемой среды 2 . Недостатком этого способа явл-яетс зависимость результатов измерения от температуры среды. Цель изобретения - устранение тем пературной погрешности. Эта цель достигается тем, что изм ряют пронормированное время остьявания термочувствительного элемента перегре.а™Гго ;ок, Процесс охлаждения термочувствительного элемента после выключения тока определяются уравнением Ь лТ(1)ДТое., где ДТ(, - максимальная температура перегрева; i - аргумент (время); %(Р.в) функция теплообмена, определяквдая длительность теплообменного переходного процесса, имеющая размерность времени, зависящая только от давления итеплоемкости исследуемой среды; о(о(-)- конструктивная константа термочувствительного элемента, имеющая размерность времени. для реализации способа измеряют время,за которое температура перегрева от величины Т уменьшается до величины А Т- /е, где е - основание натуральных логарифмов. Т.е. время, за которое максимальная температура перегрева уменьшается на нормированную величинуДТ„ (1 i. „о ре,у„ьх.,у „,«вре„„я, КСТОР.Й функционально зависит только от давления газовой среды 4i( С5) и не зависит от талпературы этой сре ды, судят о величине вакуума, по заданной заранее зависимости значения функции теплообмена от давления газовой среды. Формула изобретения Способ измерения вакуума, основан ный на перегреве термочувствительног 8 резистора относительно газовой среды током постоянной мощности, отличающийся тем, что, с целью устранения температурной погрешности, измеряют пронормированное время остывания термочувствительного элемента после выключения перегревающего тока, и по результату судят о величине вакуума. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе: 1« Авторское свидетельство СССР 348903, кл. GOI L 21/12, 1970. 2. Патент США 3580081, кл. 73-399, 1971.