Вакуумный адсорбционный насос Советский патент 1979 года по МПК F04B37/02 

(54) ВАКУУМНЫЙ АДСОРБЦИОННЫЙ НАСОС

зом, происходит откачка сосуда 2 насоса и присоединенного объема до давления порядка 1,7.. По достижении этого давления механизм 12 привода одновременно Закрывает клапаны 10 и 11 и открывает клапан 9. Испаряющиеся пары хладагента начинают поступать в объем, в котором находится уже охлажденный адсорбент 7. ПоследниД поглощает пары азота, происходит его откачка. Упругость паров уменьшается и его температура также уменьшается. При- уменьшении температуры адсорбционная способност адсорбентов по гелию и неону резко возрастает, что позволяет достигнуть более низкого предельного остаточного давления всего насоса в целом.

Формула изобретения Вакуумный адсорбционный насос, содержащий адсорбент, закрепленный

на внутренней поверхности кольцевого сосуда с хладагентом, расположенного внутри Герметичного корпуса и снабженного патрубками для подвода хладагента и отвода его паров, о т л и ч а ю щ и и с я тем, что, с целью понижения предельного давления насоса, между стенками корпуса и сосуда расположен дополнительный слой адсорбента, и в стенке сосуда выполнено отверстие, сообщающее, сосуд с полостью корпуса, а в отверстии и на патрубках установлены клапаны, соединенные с механизмом их привода.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 363811, кл. Р 04 В 37/02, 1967.

12