Устройство для контроля формы вогнутых асферических поверхностей Советский патент 1979 года по МПК G01B9/02 

яом, установленным между компенсатс)ром и входной светодепитепыюй пластиной, введены две допопнитепьные попупрозрачные ппоскопараплепьные ппастины и дополнительное регистрирующее устройство. Причем дополнительные плос- копараллельные ппастпны раамешены меж пу входной ппоскопараллельной пластиной и поворотными зеркалами, а регистрирукйцее устройство расположено эа входной светодепитепъной ппоскопараллельной пластиной соосно с дополнительной плоск параллельной пластиной и поворотным зеркалом. На чертеже показано устройство дпя контроля формы вогнутых асферических поверхностей. Устройство состоит из .осветителя 1, полупрозрачной пластины 2 осветителя, входной полупрозрачной пластины 3, зеркал 4 и 5, выходной полупрозрачной пла тины 6 (плоскости элементов 3,4, 5 и 6 параллельны друг другу и составляют некоторый острый угол с осью падающег на яих пучка света), полупрозрачных пластин 7 и 8, перпендикулярных оси па дающего на них пучка света и выполненных с возможностью перемещения вдоль этой оси и наклона в двух взаимно перпендикулярных направлениях, контролируемой фокусирующей поверхности 9, оптического компенсатора 10, основного 11 и вспомогатепъного 12 блоков регистрации интерференционных картин. Устройство работает следующим образом. От осветителя 1 пучок лучей полупро ачной пластиной 2 направляется через оптический компенсатор Ю на контролируемую фокусирующую поверхность 9. После отражения от нее и вторичного прохождения оптического компен сатора в обратном направлении,световой пуЧок попадает на входную полупрозрачную пластину 3. Входной полупрозрачной пластиной и дополнительными полупрозрачными пластинами 7 и 8 первоначальный световой пучок разделяется на четы ре пучка, которые распространяются по четырем оптическим ветвям. В основном блоке регистрации 11 . образуется сдвиговая интерференционная картина в результате взаимодействия пуч ков света, распространяющихся п двум оптическим ветвям, в блоке регистрации 12 - в результате взаимодействия пучко света, распространякяцихся по другим двум, оптическим ветвям. 6 04 В основном бпсже регистрации 1 1 наблюдается интерференционнля картина топько с боковым сдвигом волновых фронтов. Е еличина и направление бокового сдвига изменяются путем поворота зеркала 4 (или зеркала 5) относительно двух взаимоперпендикулярных осей, лежащих в его плоскости. Во вспомогательном блоке регистрации 12 в зависимости от положения пластин 7 и 8 относительно пластины 3 и наклона их к оси падающего светового пучка наблюдается интерференционная картина либо с боковым, либо с радиальным либо с радиально-боковым (смещаннь1м) сдвигом волновых фронтов. Интерференционная картина сбоко6ымс;№игом осущест- вллегся при одинаковых расстояниях полупрозрачных пласгин 7 и 8 от входнойпролупрозрачной пластины 3. Величина и направление бокового сдвига регулируются поворотом полупрозрачных пластИн. Интерференционная картина с радиальным сдвигом осуществляется при.различных расстояниях полупрозрачных пластин от входной полупрозрачной пластины, при этом необходимо, чтобы плоскости полупрозрачных пластин были перпендикулярны оси светового пучка, отраженного от контролируемой поверхности. В случае наклона полупрозрачных пластин 7 и 8 к оси и неодинаковых рассто$шиях их от пластины 3 в блоке регистрация 12 наблюдается интерференционная картина с радиапьно-боковым (смешанным) сдвигом волновых фронтов. Таким образом, предложенное устройство позволяет одновременно получать сдвиговые интерференционные картины различного типа, что повышает точность и надежность получаемых результатов при исследовании формы вогнутых асферических поверхностей. Ф О р мула изобретения Устройство для контроля формы вогнутых асферических поверхностей, содержащее источник излучения и измерительный канал, включающий оптически сопряженные компенсатор, входную светоделительнуюнлоскопараллельную пластину, по обе стороны которой установлены два поворогных зеркала, выходнуюсветоделитепьнуюплоскопа- раллельную пластину и регистрирующий блок, причем источник излучения сопряжен с измерительным каналом полупрозрачным зеркалом, установленным между компенсатором и входной светоделительной ипоскопараппепьной пластиной, отличающееся тем, что, с цепью повышения точности определения наличия деформации, в него введены пве дополнительные полупрозрачные плоскопараллепьные пластины и дополнительное регистрирующее устройство, причем дополнительные плоскопараллепьные пластины размешенымежпувходнойплоскопаралпепь ной пластиной и поворотными зеркалами, а регистрирующее устройство расположено за входной светоает1тепьной плоскопараппегоьной пластиной соосно с дополнительной ппоскопаралпельной пластиной и поворотным зеркалом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1.Бабушкин С. Г., и др.Оптико-механические приборы, Машиностроение, 1965, с. 321-324,

2.Авторское с.видетепьство СССР N920255O, кп. С О1 В 9/02, 1966.

ГП

11